一種半導體功率器件測試夾具制造技術

本實用新型專利技術一種半導體功率器件測試夾具，屬于電力半導體器件測技術領域。它主要是解決現有半導體功率器件測試中安裝不方便、效率低下的問題。它的主要特征是：包括氣缸，螺桿，螺母，導電電極，上、下壓板，上、下底板，支撐柱，長、短連接板；上、下底板之間通過螺桿、螺母連接成框架，下底板固定在氣缸上；上壓板固定在上底板上，下壓板固定在活塞上；上壓板與下壓板之間設有電極支撐板組，電極支撐板上設有導電電極；長、短連接板構成伸縮式鉸鏈結構，分設于支撐板組兩側。本實用新型專利技術具有可提高工作效率、可過載高壓和大電流、可快速壓接到規定的壓力要求、減少安裝沖擊力的特點，主要用于半導體功率器件選型的測試夾具。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術屬于電力半導體器件測試
具體涉及一種可廣泛用于半導體功率器件選型測試的半導體功率器件測試夾具。
技術介紹
目前，電力半導體器件向高壓領域發展。介于單只半導體功率器件耐壓技術瓶頸，多采用多只器件串聯。由于單只器件的特性曲線并不完全一致，緊緊依靠特性參數選型，不能完全驗證器件在不同工況串聯使用是否特性一致。故需要將使用的多只器件串聯起來在實際應用的工況下驗證其動靜態均壓特性。由于高壓半導體功率器件實際多為高壓大電流應用領域，器件需施加規定的壓力和安裝動靜態均壓系統后方可使用。所以開發一種可提高工作效率的半導體功率器件測試夾具，解決閥組安裝不方便、效率低下的問題。
技術實現思路
為解決上述問題，本技術提供一種可提高工作效率的半導體功率器件測試夾具，其結構可以過載高壓和大電流，并采用氣動的方式實現器件的快速壓接到規定的壓力要求。從而保護被測半導體功率器件，減少安裝沖擊力。本技術的技術解決方案是一種半導體功率器件測試夾具，其特征在于包括氣缸、螺桿、螺母、導電電極、上壓板、下壓板、上底板、下底板、支撐柱、長連接板和短連接板；所述上底板與下底板之間通過螺桿、螺母連接成框架，支撐柱連接在螺桿之間，下底板固定在氣缸上；所述上壓板固定在上底板上，下壓板固定在氣缸的工作活塞上；在所述上壓板與下壓板之間設有電極支撐板組，電極支撐板上設有導電電極；所述長連接板與短連接板構成伸縮式鉸鏈結構，分設于支撐板組兩側，并與支撐板組中各支撐板對應連接；所述上底板為絕緣底板。本技術的技術解決方案中所述的下壓板與氣缸工作活塞的中心位置安裝有軸承滾珠。本技術的技術解決方案中所述的長連接板與長連接板中間鉸接、并固定在支撐板的兩側構成一層鉸鏈結構；相鄰層鉸鏈結構的長連接板端部相互鉸接，構成伸縮式鉸鏈結構；上端的長連接板端部分別通過鉸結的短連接板鉸接在上壓板上，下端的長連接板端部分別通過鉸接的短連接板鉸結在下壓板上。本技術的技術解決方案中所述的支撐板組為2-11個帶導電電極的支撐板。本技術的技術解決方案中所述的相鄰支撐板的導電電極間配有動靜態吸收系統接口。本技術由于采用由氣缸、螺桿、螺母、導電電極、上壓板、下壓板、上底板、下底板、支撐柱、長連接板和短連接板構成的一種半導體功率器件測試夾具，其中，上底板與下底板之間通過螺桿、螺母連接成框架，支撐柱連接在螺桿之間，下底板固定在氣缸上，上壓板固定在上底板上，下壓板固定在氣缸的工作活塞上，上壓板與下壓板之間設有電極支撐板組，電極支撐板上設有導電電極，長連接板與短連接板構成伸縮式鉸鏈結構，分設于支撐板組兩側，并與支撐板組中各支撐板對應連接，上底板為絕緣底板，因而測試時，將待測試器件分別放入各層支撐板上，啟動氣缸使活塞推動下壓板向上移動，各層間均勻間隔作用，至所安裝的所有半導體器件面面接觸，然后施加固定的緊固壓力將半導體功率器件壓緊，便可進行測試。本技術由于上底板為高強度環氧結構，因而可提高夾具絕緣性能，防止框架回路在大電流下產生感應電流。本技術支撐板組由于可能為2-11個帶導電電極的支撐板，因而可測試ι- ο只半導體功率器件，支撐板起支撐和限位作用。本技術由于在下壓板與氣缸工作活塞的中心位置安裝有軸承滾珠，可矯正各層面接觸后的傾斜，起自動找平的效果。本技術由于每層電極間配有動靜態吸收系統接口，可配置不同參數動靜態吸收系統。本技術由于在相鄰支撐板的導電電極間配有動靜態吸收系統接口，因而每層導電電極可獨立輸出。本技術具有可提高工作效率、可過載高壓和大電流、可快速壓接到規定的壓力要求、減少安裝沖擊力的特點。本技術主要用于半導體功率器件選型的測試夾具。附圖說明圖1是本技術的結構示意圖。圖2是圖1的部分結構左視圖。具體實施方式以下結合附圖對本技術作進一步詳述。如圖1、圖2所示。本技術一種半導體功率器件測試夾具由氣缸1、框架、螺桿3、螺母4、軸承滾珠5、導電電極7、下壓板6、上壓板10、下底板2、上底板12、絕緣塊11、支撐柱8、長連接板13、短連接板14、動靜態均壓系統接口 9組成。上底板12與下底板2之間通過四角的4根螺桿3及配合的螺母4連接成框架，支撐柱8連接在螺桿3之間，下底板2固定在氣缸I上。上底板為高強度環氧結構的絕緣底板，可提高夾具絕緣性能，防止框架回路在大電流下產生感應電流。上壓板10固定在上底板12上，下壓板6固定在氣缸I的工作活塞上。下壓板6與氣缸I工作活塞的中心位置安裝有軸承滾珠5，在施加壓力過程中，由于下壓板、各電極、支撐板、上壓板、及被測試功率器件如工藝原因或者安裝的精度等出現問題而導致的各層面不水平、壓力出現偏執時，可矯正各層面接觸后的傾斜，起自動找平的效果。在上壓板10與下壓板6之間設有電極支撐板組，電極支撐板上設有導電電極7。支撐板組為2-11個帶導電電極的支撐板，可測試1-10只半導體閥片的功率測試，支撐板起支撐和限位作用，每層導電電極可獨立輸出，支撐板支撐時，兩極板間隙>40cm，限位時兩極板間隙<20cm。相鄰支撐板的導電電極間配有動靜態吸收系統接口，可配置不同參數動靜態吸收系統，每層導電電極可獨立輸出。長連接板13與長連接板13中間通過軸鉸接，該軸固定在支撐板的側端，構成一層鉸鏈結構。相鄰層鉸鏈結構的長連接板13端部相互鉸接，構成伸縮式鉸鏈結構，分設于支撐板組兩側。上端的長連接板13端部分別通過鉸接的短連接板14鉸結接在上壓板10上，下端的長連接板13端部分別通過鉸接的短連接板14鉸接在下壓板6上。支撐柱8可使各電極間上下均勻，各層間均勻間隔作用，二輔助支撐板起上下限位作用。氣動裝置設有緩沖設計，氣缸上升有兩路電磁閥控制，一路電磁閥控制較小的壓力使被測器件緩慢接觸。器件接觸后另一路電磁閥控制氣缸施加規定壓力。首先工作時，活塞推動下壓板11向上移動，首先施加一小壓力降各半導體功率器件緩慢接觸，至所安裝的所有半導體器件面面接觸，然后施加固定的緊固壓力將半導體功率器件壓緊。本技術可測試管殼為平板型的整流二極管、快恢復二極管、門極可關斷晶閘管、雙向晶閘管、相控晶閘管、快速晶閘管、光控晶閘管等電力半導體器件中任意一種。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種半導體功率器件測試夾具，其特征在于：包括氣缸（1）、螺桿（3）、螺母（4）、導電電極（7）、上壓板（10）、下壓板（6）、上底板（12）、下底板（2）、支撐柱（8）、長連接板（13）和短連接板（14）；所述上底板（12）與下底板（2）之間通過螺桿（3）、螺母（4）連接成框架，支撐柱（8）連接在螺桿（3）之間，下底板（2）固定在氣缸（1）上；所述上壓板（10）通過絕緣塊（11）固定在上底板（2）上，下壓板（6）固定在氣缸（1）的工作活塞上；在所述上壓板（10）與下壓板（6）之間設有電極支撐板組，電極支撐板上設有導電電極（7）；所述長連接板（13）與短連接板構（14）成伸縮式鉸鏈結構，分設于支撐板組兩側，并與支撐板組中各支撐板對應連接；所述上底板（12）為絕緣底板。

【技術特征摘要】
1.一種半導體功率器件測試夾具，其特征在于包括氣缸(I)、螺桿(3)、螺母(4)、導電電極(7)、上壓板(10)、下壓板(6)、上底板(12)、下底板(2)、支撐柱(8)、長連接板(13)和短連接板(14);所述上底板(12)與下底板(2)之間通過螺桿(3)、螺母(4)連接成框架，支撐柱(8 )連接在螺桿(3 )之間，下底板(2 )固定在氣缸(I)上；所述上壓板(10 )通過絕緣塊 (11)固定在上底板(2 )上，下壓板(6 )固定在氣缸(I)的工作活塞上；在所述上壓板(10 )與下壓板(6)之間設有電極支撐板組，電極支撐板上設有導電電極(7);所述長連接板(13)與短連接板構(14)成伸縮式鉸鏈結構，分設于支撐板組兩側，并與支撐板組中各支撐板對應連接；所述上底板(12)為絕緣底板。2.根據權...

【專利技術屬性】
技術研發人員：鄒宗林，肖彥，黃俊，可家軍，曾慶泉，
申請(專利權)人：湖北臺基半導體股份有限公司，
類型：實用新型
國別省市：