【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)主要應用于集成電路測試領(lǐng)域，特別是一種探針卡的探針的保護系統(tǒng)及方法。
技術(shù)介紹
眾所周知，探針卡的探針在測試過程中都是裸露在空氣中的，所以很容易被氧化，特別是在測試有熔絲燒錄測試的芯片中表現(xiàn)特別明顯，因為在熔絲燒錄的過程中探針上會有大電流通過，探針極容易被氧化。當探針被氧化后，測試的良率會受到很大影響，這時候必須選擇磨探針，嚴重的只能到針卡廠重新?lián)Q針才能提高良率。探針被氧化后對測試有以下幾點影響1、成品率變低，間接的提高了產(chǎn)品的測試成本；2、磨針影響了測試效率，直接提高產(chǎn)品的測試成本；3、返廠維修針卡，影響的測試進度。如果只有一張針卡時會導致整個產(chǎn)品的測試處于停滯狀態(tài)，直接影響產(chǎn)品的出貨周期。另一方面，一般測試是晶圓出廠后的第一步工序，晶圓在做測試的時候比較臟，上面有很多我們?nèi)庋鄄荒芸吹降碾s質(zhì)。如果測試的時候針剛好落在這些雜質(zhì)上面，就會導致接觸不良從而影響測試的初測良率，延長了測試時間，間接增加了測試成本。從整個測試行業(yè)來看，目前并沒有相應的技術(shù)、方法或措施來解決探針卡的探針在測試過程被氧化這一問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的是提供了一種探針在測試過程中的保護系統(tǒng)，用以解決探針卡的探針被氧化的問題，從而延長探針的使用壽命，降低測試成本。本技術(shù)還可以從一定程度上去除晶圓上的雜質(zhì)，從而提高初測的良率。為了實現(xiàn)上述目的，本技術(shù)提供一種探針保護系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括氮氣產(chǎn)生裝置、氮氣輸送管道、測試機臺陣列，所述氮氣產(chǎn)生裝置用于產(chǎn)生氮氣；所述氮氣輸送管道分別與所述氮氣產(chǎn)生裝置及所述測試機臺陣列連接；所述測試機臺陣列由N個并聯(lián)的測試機臺組成，N為正整數(shù)，且N > I...
【技術(shù)保護點】
一種探針保護系統(tǒng)，其特征在于包括氮氣產(chǎn)生裝置、氮氣輸送管道、測試機臺陣列，所述氮氣產(chǎn)生裝置用于產(chǎn)生氮氣；所述氮氣輸送管道分別與所述氮氣產(chǎn)生裝置及所述測試機臺陣列連接；所述測試機臺陣列由N個并聯(lián)的測試機臺組成，N為正整數(shù)，且N≥1；所述測試機臺上安裝有探針卡；所述探針卡上設(shè)置有探針保護裝置。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種探針保護系統(tǒng)，其特征在于包括氮氣產(chǎn)生裝置、氮氣輸送管道、測試機臺陣列， 所述氮氣產(chǎn)生裝置用于產(chǎn)生氮氣；所述氮氣輸送管道分別與所述氮氣產(chǎn)生裝置及所述測試機臺陣列連接；所述測試機臺陣列由N個并聯(lián)的測試機臺組成，N為正整數(shù)，且N > I ;所述測試機臺上安裝有探針卡；所述探針卡上設(shè)置有探針保護裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針保護系統(tǒng)，其特征在于所述氮氣產(chǎn)生裝置處于永久激活狀態(tài)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針保護系統(tǒng)，其特征在...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：徐正元，
申請(專利權(quán))人：成都市中州半導體科技有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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