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本實用新型提供一種探針保護(hù)系統(tǒng),該系統(tǒng)包括氮氣產(chǎn)生裝置、氮氣輸送管道及測試機臺陣列,所述氮氣產(chǎn)生裝置用于產(chǎn)生氮氣;所述氮氣輸送管道分別與所述氮氣產(chǎn)生裝置及所述測試機臺陣列連接;所述測試機臺陣列由N個并聯(lián)的測試機臺組成,N為正整數(shù),且N≥1;...該專利屬于成都市中州半導(dǎo)體科技有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過成都市中州半導(dǎo)體科技有限公司授權(quán)不得商用。