測長裝置直交度補償方法及使用該方法的測長裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術提供一種測長裝置直交度補償方法及使用該方法的測長裝置，所述方法包括以下步驟：步驟1、提供測量機臺及數個對位標記，所述測量機臺包括機架、安裝于機架上的矩形測量平臺、設于測量平臺上方的測定顯微鏡及安裝于機架上且連接測定顯微鏡的激光器；步驟2、將對位標記安裝于測量平臺上，并記錄該些對位標記對應測量平臺坐標系的坐標，以作為參考坐標值；步驟3、通過測定顯微鏡讀取該些對位標記對應測量平臺坐標系的實際坐標值，并將該實際坐標值與參考坐標值進行對比；步驟4、如果實際坐標值與參考坐標值之間存在偏差，補正該實際坐標值，使得該實際坐標值等于參考坐標值。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及測量領域，尤其涉及一種測長裝置直交度補償方法及使用該方法的測長裝置。
技術介紹
液晶顯示裝置(LCD, Liquid Crystal Display)具有機身薄、省電、無福射等眾多優點，得到了廣泛的應用。現有市場上的液晶顯示裝置大部分為背光型液晶顯示器，其包括液晶顯示面板及背光模組(backlight module)。液晶面板的工作原理是在兩片平行的玻璃基板中放置液晶分子，通過給玻璃基板的電路通電來控制液晶分子改變方向，將背光模組的光線折射出來產生畫面。請參閱圖1，所述液晶顯示面板一般包括TFT (薄膜晶體管)基板100、與TFT基板100相對貼合設置的CF基板300及設于TFT基板100與CF基板300之間的液晶500，TFT基板100 —般包括基板102及形成于基板102上的薄膜晶體管陣列104，該薄膜晶體管陣列104通過光照制程形成于基板102上，在形成薄膜晶體管陣列104的時候，為了保證對每一個像素單元的尺寸精度，需要對每一個像素單元的尺寸進行測量。請參閱圖2及圖3，在TFT基板100與CF基板300進行貼合時，為了保證貼合精度，一般現在TFT基板100與CF基板300的角落位置分別設置對齊標記，一般的，在TFT基板100的四個角落位置設置十字形第一標記120，在CF基板300的對應四角落位置設置第二標記320,每一第二標記320均包括四個標記塊322,該四個標記快322分別對稱設置，當TFT基板100與CF基板300貼合后，所述第二標記320與第一標記120完全對應，這時，每一第二標記320的四個標記快322分別位于與該一第二標記320對應的第一標記120的四個角落設置，該第一與第二標記120、320在形成時需要通過測長裝置進行測量，以保證配合精度，TFT基板100與CF基板300貼合后，也需要通過測長裝置進行檢測，以保證第一與第二標記120、320精密配合。綜上所述，可見，測長裝置在液晶顯示面板制作過程中具有極其重要的作用，為液晶顯示面板生產不可或缺的設備。請參閱圖4，現有的測長裝置一般為激光測長裝置，其包括測量機臺500及電性連接于該測量機臺500的操作系統(未圖示)，所述測量機臺500包括機架502安裝于機架502上的平臺504、安裝于平臺504上相對兩側的導軌506、可滑動安裝于導軌506上的橫梁508、可滑動安裝于橫梁508上的測定顯微鏡510及安裝于機架502上且連接測定顯微鏡510的激光器512，測量時，操作系統控制測量機臺500讀取置于平臺504上的待測物體(未圖示)上的某兩測量點的坐標，并將讀取的兩坐標值傳送給操作系統，操作系統根據該兩坐標值進行運算，進而確定量測量點之間的長度，具體如下請參閱圖5,其中，X-Y為測定坐標系，Xt-Yt為平臺坐標系，Xc-Yc為測定顯微鏡坐標系，那么，測定點A的坐標(X，Y) = (Xt+Xc, Yt+Y。)。用于液晶顯示面板制程中的測長裝置，其平臺504上安裝有數個支撐針542，液晶顯示面板(未圖示)承載于該些支撐針542上，以導軌506的長度方向為Y軸方向，以橫梁508的長度方向為X方向，所以橫梁508必須垂直導軌506，但在實際測量過程中，橫梁508在相對導軌506滑動時，橫梁508與導軌506的直交度會出現偏差(如圖6所示)，進而導致測量結果誤差，進而影響后續制程。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種測長裝置直交度補償方法，其通過在測量機臺的測量平臺四角設置對位標記，在測量前先通過對位標記的參考坐標與測量坐標進行對比，以確定測量機臺的直交度，有效保證測量精度。本專利技術的另一目的在于提供一種測長裝置，其通過在測量平臺四角設置對位標記，監測橫梁與導軌的直交度，進而保證測量精度為實現上述目的，本專利技術提供一種測長裝置直交度補償方法，包括以下步驟步驟1、提供測量機臺及數個對位標記，所述測量機臺包括機架、安裝于機架上的矩形測量平臺、設于測量平臺上方的測定顯微鏡及安裝于機架上且連接測定顯微鏡的激光器；步驟2、將對位標記安裝于測量平臺上，并記錄該些對位標記對應測量平臺坐標系的坐標，以作為參考坐標值；步驟3、通過測定顯微鏡讀取該些對位標記對應測量平臺坐標系的實際坐標值，并將該實際坐標值與參考坐標值進行對比；步驟4、如果實際坐標值與參考坐標值之間存在偏差，補正該實際坐標值，使得該實際坐標值等于參考坐標值。所述步驟I提供的對位標記為四個，分別安裝于測量平臺的四個角落位置。所述步驟I提供的測量機臺還包括安裝于測量平臺上且位于測量平臺相對兩側的第一與第二導軌、安裝于該第一與第二導軌上的橫梁及動力系統，該橫梁沿該第一與第二導軌長度方向滑動設置，所述測定顯微鏡滑動安裝于該橫梁上，該動力系統包括數個直線電機，分別用于驅動橫梁在第一與第二導軌上的滑動及測定顯微鏡在橫梁上的滑動。所述測量平臺由玻璃制成，其上均布數個孔部，數個支撐針由該些孔部延伸于測量平臺外，用于支撐待測量液晶顯示面板。所述測量機臺還包括安裝于機架上的石定磐，該石定磐由大理石制成，所述測量平臺裝于該石定磐上。所述測量機臺還包括設于機架與石定磐之間的防震裝置及氣浮系統。本專利技術還提供一種測長裝置，包括測量機臺及安裝于測量機臺上的四個定位標記，所述測量機臺包括機架、安裝于機架上的矩形測量平臺、設于測量平臺上方的測定顯微鏡及安裝于機架上且連接測定顯微鏡的激光器，所述定位標記分別安裝于測量平臺的四個角落位置。所述測量機臺還包括安裝于測量平臺上且位于測量平臺相對兩側的第一與第二導軌、安裝于該第一與第二導軌上的橫梁及動力系統，該橫梁沿該第一與第二導軌長度方向滑動設置，所述測定顯微鏡滑動安裝于該橫梁上，該動力系統包括數個直線電機，分別用于驅動橫梁在第一與第二導軌上的滑動及測定顯微鏡在橫梁上的滑動。所述測量平臺由玻璃制成，其上均布數個孔部，數個支撐針由該些孔部延伸于測量平臺外，用于支撐待測量液晶顯示面板。所述測量機臺還包括安裝于機架上的石定磐、設于機架與石定磐之間的防震裝置及氣浮系統，該石定磐由大理石制成，所述測量平臺裝于該石定磐上。本專利技術的有益效果本專利技術測長裝置直交度補償方法及使用該方法的測長裝置，其通過在測量平臺上設置對位標記，在測量前先讀取對位標記的坐標值，并將該坐標值與該對位標記的設定坐標值進行對比，出現偏差時自動補正，以保證X軸與Y軸的直交度，進而保證測量的精度。為了能更進一步了解本專利技術的特征以及
技術實現思路
，請參閱以下有關本專利技術的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本專利技術加以限制。附圖說明下面結合附圖，通過對本專利技術的具體實施方式詳細描述，將使本專利技術的技術方案及其它有益效果顯而易見。附圖中，圖1為液晶顯示面板的結構示意圖；圖2為TFT基板與CF基板的分解示意圖；圖3為TFT基板的第一標記與CF基板的第二標記的對位配合示意圖；圖4為現有的測長裝置的結構示意圖；圖5為測長裝置測量坐標原理圖；圖6為測長裝置的直交度出現偏差時的俯視示意圖；圖7為本專利技術測長裝置直交度補償方法的流程圖；圖8為本專利技術測長裝置的結構示意圖；圖9為本專利技術測長裝置的俯視示意圖。具體實施例方式為更進一步闡述本專利技術所采取的技術手段及其效果，以下結合本專利技術的優選實施例及其附圖進行詳細描述。請參閱圖7至圖9，本專利技術提供本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種測長裝置直交度補償方法，其特征在于，包括以下步驟：步驟1、提供測量機臺及數個對位標記，所述測量機臺包括機架、安裝于機架上的矩形測量平臺、設于測量平臺上方的測定顯微鏡及安裝于機架上且連接測定顯微鏡的激光器；步驟2、將對位標記安裝于測量平臺上，并記錄該些對位標記對應測量平臺坐標系的坐標，以作為參考坐標值；步驟3、通過測定顯微鏡讀取該些對位標記對應測量平臺坐標系的實際坐標值，并將該實際坐標值與參考坐標值進行對比；步驟4、如果實際坐標值與參考坐標值之間存在偏差，補正該實際坐標值，使得該實際坐標值等于參考坐標值。

【技術特征摘要】
1.一種測長裝置直交度補償方法，其特征在于，包括以下步驟: 步驟1、提供測量機臺及數個對位標記，所述測量機臺包括機架、安裝于機架上的矩形測量平臺、設于測量平臺上方的測定顯微鏡及安裝于機架上且連接測定顯微鏡的激光器； 步驟2、將對位標記安裝于測量平臺上，并記錄該些對位標記對應測量平臺坐標系的坐標，以作為參考坐標值； 步驟3、通過測定顯微鏡讀取該些對位標記對應測量平臺坐標系的實際坐標值，并將該實際坐標值與參考坐標值進行對比； 步驟4、如果實際坐標值與參考坐標值之間存在偏差，補正該實際坐標值，使得該實際坐標值等于參考坐標值。2.如權利要求1所述的測長裝置直交度補償方法，其特征在于，所述步驟I提供的對位標記為四個，分別安裝于測量平臺的 四個角落位置。3.如權利要求1所述的測長裝置直交度補償方法，其特征在于，所述步驟I提供的測量機臺還包括安裝于測量平臺上且位于測量平臺相對兩側的第一與第二導軌、安裝于該第一與第二導軌上的橫梁及動力系統，該橫梁沿該第一與第二導軌長度方向滑動設置，所述測定顯微鏡滑動安裝于該橫梁上，該動力系統包括數個直線電機，分別用于驅動橫梁在第一與第二導軌上的滑動及測定顯微鏡在橫梁上的滑動。4.如權利要求1所述的測長裝置直交度補償方法，其特征在于，所述測量平臺由玻璃制成，其上均布數個孔部，數個支撐針由該些孔部延伸于測量平臺外，用于支撐待測量液晶顯示...

【專利技術屬性】
技術研發人員：林勇佑，
申請(專利權)人：深圳市華星光電技術有限公司，
類型：發明
國別省市：