【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及傳感器
，尤其涉及解決壓力傳感器機械遲滯性誤差的結構和方法。
技術介紹
壓力傳感器是工業生活中最常見的一種傳感器，其廣泛應用于各種領域，涉及自動化生產、機床、管道、電力、交通監控、航空航天、石油石化、軍工等眾多行業。隨著微機電MEMS技術的發展，MEMS壓力傳感器的技術也得到了顯著提高，傳感器體積越來越小，測量精度也得到了很大提高。然而對于測量高精度壓力時，壓力傳感器自身的機械誤差就不能忽視。施加在傳遞壓力的膜片上的壓力從高至低降到壓力值F時，和壓力從低至高升到壓力值F時，雖然最終的壓力值相同，但由于機械的遲滯特性，膜片此時在應力作用下的撓度是不同的，即傳感器膜片壓力載荷的加載線與卸載線不完全重合。對于壓力傳感器，由于待測量的壓力可能不穩定，難以確定測得的電壓信號是否對應真實的壓力值，這就造成所測量的彈性膜片形變對應的壓力與實際的壓力有偏差，采集到的壓力信號精度不高。
技術實現思路
本專利技術提出的一種測量壓力的傳感器及測量方法，其目的旨在克服現有技術所存在的上述缺陷，降低由于機械遲滯性造成的誤差，提高壓力的測量精度。本專利技術的技術解決方案傳感器由數模轉換器、壓電執行器、膜片、襯底組成，其中襯底上設置有膜片，壓電執行器位于膜片的表面中央，數模轉換器通過導線連接到壓電執行器上，壓電執行器為壓電膜片或壓電陶瓷；壓力傳感器的測量方法為1)將數模轉換器輸出的模擬電壓施加在壓電執行器上；2)增加壓電執行器上的電壓至目標電壓；3)降低壓電執行器上的電壓；4)測量膜片上的壓力。本專利技術的有益之處在于相比于已有技術，本專利技術傳感器在膜片上使用壓電執...
【技術保護點】
一種傳感器，其特征在于由數模轉換器、壓電執行器、膜片、襯底組成，其中襯底上設置有膜片，壓電執行器位于膜片的表面中央，數模轉換器通過導線連接到壓電執行器上。
【技術特征摘要】
1.一種傳感器，其特征在于由數模轉換器、壓電執行器、膜片、襯底組成，其中襯底上設置有膜片，壓電執行器位于膜片的表面中央，數模轉換器通過導線連接到壓電執行器上。2.如權利要求1所述的傳感器，其特征在于所述的數模轉換器輸出的模擬電壓施加在壓電執行器上，控制壓電執行器驅動膜片彎曲。3.如權利要求1所述的傳感器，其特征在于所述的壓電執行器為壓電膜片或壓電陶瓷。4.一種傳感器的測量方法，其特征在于包含下列步驟: 1)將數模轉換器輸出的模...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李維平，劉清惓，黃標，周曉，佘德群，
申請(專利權)人：南京高華科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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