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本發(fā)明公開(kāi)了一種傳感器及其測(cè)量方法，傳感器結(jié)構(gòu)包括：數(shù)模轉(zhuǎn)換器、壓電執(zhí)行器、膜片、襯底。壓力測(cè)量的步驟如下：數(shù)模轉(zhuǎn)換器為壓電執(zhí)行器施加階梯式增加的電壓；壓電執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)壓力傳感器的膜片彎曲；數(shù)模轉(zhuǎn)換器為壓電執(zhí)行器施加階梯式減小的電壓；測(cè)量膜片...該專(zhuān)利屬于南京高華科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)南京高華科技有限公司授權(quán)不得商用。