提供一種真空裝置用照明器具，其中，光能通過觀察窗進入真空裝置的內部，并且真空裝置的內部能夠被照亮從而能夠從觀察窗目視地確認真空裝置的內部。[解決方案]真空裝置用照明器具（10A）包括：聯接適配器（11），其通過聯接單元被可裝卸地聯接到觀察窗；開口（12），其形成在聯接適配器（11）的中央部，并且經過該開口可以通過觀察窗目視地確認真空裝置的內部；以及多個LED（發光二極管）（13），其被安裝于聯接適配器（11），并且面對觀察窗。照明器具（10A）被安裝到用于目視地確認真空裝置內部的觀察窗，并且照亮真空裝置的內部。
【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及真空裝置用照明器具，該照明器具被安裝到用于觀察真空裝置的內部的觀察窗，并且照亮真空裝置的內部。
技術介紹
存在如下氫量測定裝置(真空裝置)，其設置有:真空室，其容納測定對象物；輸送單元，其被聯接到真空室的一端并且將測定對象物輸送到室的內部；加熱器，其逐漸地將真空室的溫度從低溫升高到高溫；分壓分析計，其在被輸送到真空室內部的測定對象物的溫度增加的情況下分析從測定對象物釋放的氫氣的氫氣分壓；以及控制器，其基于從分壓分`析計輸出的氫氣分壓確定包含于測定對象物中的氫量(參見專利文件I)。輸送單元由具有預定容積的殼體、能夠插入到殼體的內部并且從殼體的內部拉出的輸送桿、被安裝到輸送桿的一端并且可裝卸地支撐測定對象物的支撐構件和配置于殼體外周面的引導磁體形成。在該氫量測定裝置中，安裝到輸送桿一端的支撐構件可裝卸地支撐測定對象物，通過使用輸送桿和引導磁體使測定對象物從室的一端移動到室的中央部，并且，在測定對象物載置于處于室的中央部的載物臺之后，測定測定對象物的氫量。專利文獻1:特開2009-006877號公報
技術實現思路
專利技術要解決的問題雖然在圖中未示出，但是在上述公報中公開的氫量測定裝置(真空裝置)設置有多個用于觀察真空室內部的觀察窗。氫量測定裝置允許在通過觀察窗目視地檢查的情況下使測定對象物移動到室的中央部并被載置在載物臺上。在該氫量測定裝置中，照明器具不能設置于真空室中或殼體中，使得有必要通過使用外部照明來經觀察窗目視地檢查測定對象物。然而，當外部照明量小時，通過觀察窗進入到真空室的內部和殼體的內部的光量小，使得不可能有效地照亮室的內部和殼體的內部,并且看見室的內部和殼體的內部。如果不能看見真空室的內部，則不能目視地檢查測定對象物，使得有時候不能將對象物輸送到設置于室的中央部的載物臺，并且將對象物載置在該載物臺上。而且，如果不能夠看見殼體的內部，當多個測定對象物貯存于殼體內時，有時候，不能從這些測定對象物中拾取期望的對象物。本專利技術的目的是提供真空裝置用照明器具，該照明器具允許光通過觀察窗進入真空裝置的內部，并且使得可以通過照亮真空裝置的內部而經觀察窗看見真空裝置的內部。本專利技術的另一目的是提供一種真空裝置用照明器具，該照明器具在使光通過觀察窗進入到真空裝置內部而允許人觀察真空裝置的內部的情況下能夠可靠地將真空處理對象物輸送到真空裝置的預定位置。用于解決問題的方案本專利技術的用于解決上述問題的前提是真空裝置用照明器具，所述照明器具被安裝到用于觀察真空裝置的內部的觀察窗，并且所述照明器具照亮所述真空裝置的內部。本專利技術的基于上述前提的特征在于，所述照明器具包括:聯接適配器，其經由聯接單元被能裝卸地聯接到所述觀察窗；開口，其形成于所述聯接適配器的中央部，并且允許通過所述觀察窗觀察所述真空裝置的內部；以及多個LED(發光二極管)，其設置于所述聯接適配器并且面對所述觀察窗。作為本專利技術的示例，所述聯接適配器由周壁和環狀的LED設置板形成，所述周壁沿著軸向延伸并且具有位于所述觀察窗所在側的前端部、位于所述前端部的相反側的后端部以及位于所述前端部和所述后端部之間的中間部，所述LED設置板被固定到所述周壁的所述中間部處的內周面，并且所述LED設置板以圍繞所述開口的方式沿著所述周壁的徑向向內延伸，并且所述多個LED被設置于所述LED設置板的相反面，所述相反面面對所述觀察窗。作為本專利技術的另一示例，所述多個LED沿所述LED設置板的相反面的周向等間隔地配置。作為本專利技術的另一示例，用于漫射從所述LED照射的光的光漫射板被安裝到所述聯接適配器的周壁的在所述前端部和所述中間部處的內周面以及所述LED設置板的相反面的至少一方。作為本專利技術的另一示例，用于反射從所述LED照射的光的光反射板被安裝到所述聯接適配器的周壁的在所述前端部和所述中間部的內周面以及所述LED設置板的相反面的至少一方。作為本專利技術的另一示例，所述照明器具包括:攝像裝置，其被能裝卸地設置于所述聯接適配器的周壁的后端部并且用于拍攝所述真空裝置的內部的圖像；以及顯示裝置，其用于顯示所述攝像裝置所拍攝的圖像。作為本專利技術的另一示例，所述攝像裝置為具有CXD圖像傳感器的CXD相機。作為本專利技術的另一示例，所述真空裝置包括真空室和輸送單元，所述輸送單元被聯接到所述真空室并且具有輸送部，所述輸送部用于將真空處理對象物輸送到所述真空室的內部，所述觀察窗形成于所述真空室和所述輸送單元中的至少所述真空室，所述照明器具被設置于形成于所述真空室和所述輸送單元中的至少所述真空室的觀察窗。作為本專利技術的另一示例，所述顯示裝置被設置于所述輸送單元的輸送部附近。專利技術的效果根據本專利技術的真空裝置用照明器具包括:聯接適配器，其經由聯接單元被能裝卸地聯接到所述觀察窗；開口，其形成于所述聯接適配器的中央部，并且允許通過所述觀察窗觀察所述真空裝置的內部；以及多個LED(發光二極管)，其設置于所述聯接適配器并且面對所述觀察窗，并且，當照明器具被設置于觀察窗時，從LED照射的光通過觀察窗進入真空裝置的內部并且該光照亮真空裝置內部的整個空間，使得能夠通過觀察窗有效地看見真空裝置的內部，并且通過觀察窗可靠地目視檢查設置于真空裝置內部的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，聯接適配器包括:周壁，其沿著軸向延伸并且包括前后端部和中間部；以及LED設置板，其被固定到周壁在中間部處的內周面，多個LED被設置于LED設置板的相反面,并且所述相反面面對觀察窗，由于多個LED設置于LED設置板的相反面，并且來自LED的光從LED設置板的相反面向觀察窗照射,從LED照射的光通過觀察窗可靠地進入真空裝置的內部，并且利用該光照亮真空裝置內部的整個空間，使得能夠通過觀察窗有效地看見真空裝置的內部，并且通過觀察窗可靠地目視檢查設置于真空裝置內部的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，所述多個LED沿所述LED設置板的相反面的周向等間隔地配置，由于來自LED的光從LED設置板的相反面被均勻地照射于整個觀察窗，所以從LED照射的光通過觀察窗可靠地進入到真空裝置的內部，并且利用該光照亮真空裝置內部的整個空間，使得能夠通過觀察窗有效地看見真空裝置的內部并且通過觀察窗可靠地目視檢查設置于真空裝置的內部的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，用于漫射從所述LED照射的光的光漫射板被安裝到所述聯接適配器的周壁的在所述前端部和所述中間部處的內周面以及所述LED設置板的相反面的至少一方，由于從LED照射的光被光漫射板漫射，并且來自LED的光被均勻地照射于整個觀察窗，所以從LED照射的光在被漫射的同時通過觀察窗可靠地進入到真空裝置的內部，并且利用該光照亮真空裝置內部的整個空間，使得能夠通過觀察窗有效地看見真空裝置的內部并且通過觀察窗可靠地目視檢查設置于真空裝置的內部的真空處理對象物。在真空裝置用照明器具中，用于反射從所述LED照射的光的光反射板被安裝到所述聯接適配器的周壁的在所述前端部和所述中間部的內周面以及所述LED設置板的相反面的至少一方，即使當從LED照射的光被觀察窗反射時，由于該光被反射板反射，并且再次進入觀察窗，所以從LED照射的大多數光通過觀察窗進入真空裝置的內部，并且利用該光照亮真空裝置內部的整個空間，使得能夠通過觀察窗有效地看見真空裝置的內本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】2010.09.09 JP 2010-2015681.一種真空裝置用照明器具，所述照明器具能被安裝到用于觀察真空裝置的內部的觀察窗，并且所述照明器具照亮所述真空裝置的內部，其中， 所述照明器具包括:聯接適配器，其經由聯接單元被能裝卸地聯接到所述觀察窗；開口，其形成于所述聯接適配器的中央部，并且允許通過所述觀察窗觀察所述真空裝置的內部；以及多個LED (發光二極管)，其設置于所述聯接適配器并且面對所述觀察窗。2.根據權利要求1所述的真空裝置用照明器具，其特征在于， 所述聯接適配器由周壁和環狀的LED設置板形成，所述周壁沿著軸向延伸并且具有位于所述觀察窗所在側的前端部、位于所述前端部的相反側的后端部以及位于所述前端部和所述后端部之間的中間部，所述LED設置板被固定到所述周壁的所述中間部處的內周面，并且所述LED設置板以圍繞所述開口的方式沿著所述周壁的徑向向內延伸，并且 所述多個LED被設置于所述LED設置板的相反面，所述相反面面對所述觀察窗。3.根據權利要求2所述的真空裝置用照明器具，其特征在于， 所述多個LED沿所述LED設置板的相反面的周向等間隔地配置。4.根據權利要求2或3所述的真空裝置用照明器具，其特征在于， 用于漫射從所述LED照射的光的...
【專利技術屬性】
技術研發人員：佐佐木友章，千葉昭雄，
申請(專利權)人：株式會社AVC，
類型：
國別省市：
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