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提供一種真空裝置用照明器具,其中,光能通過觀察窗進(jìn)入真空裝置的內(nèi)部,并且真空裝置的內(nèi)部能夠被照亮從而能夠從觀察窗目視地確認(rèn)真空裝置的內(nèi)部。[解決方案]真空裝置用照明器具(10A)包括:聯(lián)接適配器(11),其通過聯(lián)接單元被可裝卸地聯(lián)接到觀察窗...該專利屬于株式會(huì)社AVC所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過株式會(huì)社AVC授權(quán)不得商用。