【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種氫化物氣相外延裝置，包括一氣相外延反應腔，其特征在于反應腔上部設有進氣裝置，進氣裝置下方設有一石英舟，反應腔下部設有載片盤，載片盤下方和上方設有加熱裝置，載片盤下方的加熱裝置與反應區由載片盤支撐隔開，反應腔底部設有排氣口。
【技術特征摘要】
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