用于粘附工件的方法和工件粘附裝置制造方法及圖紙

用于粘附工件的方法和工件粘附裝置。該用于粘附工件的方法能夠將工件拋光成具有相同的厚度。該用于粘附工件的方法在工件粘附裝置中實施，該工件粘附裝置包括：加壓臺；和設置于加壓臺的上方并且能夠彼此獨立地靠近和遠離加壓臺地移動的多個加壓頭。加壓臺和加壓頭將工件壓到板上并利用粘合劑使工件粘附至板。每個加壓頭均以相同的壓力將對應的一個工件壓到板上。

【技術實現步驟摘要】
用于粘附工件的方法和工件粘附裝置
本專利技術涉及將工件粘附于板的方法，其中工件將安置于拋光裝置并通過拋光裝置進行拋光，本專利技術還涉及用于實施該方法的工件粘附裝置。
技術介紹
在對例如硅晶片等工件的一面進行拋光的情況下，預定數量的工件被粘附于板，在工件的待拋光表面面對拋光板的拋光布的狀態下將板安置于拋光裝置，并且拋光板在供應漿料的同時轉動以使工件的表面被拋光。在日本特開平5-82493號公報中公開了用于將多個工件粘附于板的傳統技術。在該技術中，包括加熱器的加熱臺被預先加熱到預定溫度，然后將板放置于加熱臺以對板進行加熱。接下來，將粘合劑涂布于板的將要粘附工件的預定部分。將工件分別放置于粘合劑已經熔化的預定部分。接下來，將板放置于包括冷卻機構并且位于靠近加熱臺的位置的加壓臺，其中已利用粘合劑將工件設置于該板上。設置于加壓臺的上方并且能夠上下移動的加壓頭向下移動，以在加壓頭和加壓臺之間對工件和板進行加壓，從而將工件壓到板上并使粘合劑延展。另外，向加壓臺的冷卻機構供應冷卻水以冷卻板和粘合劑，從而使粘合劑固化并且使工件粘附于板。在日本特開平5-82493號公報所公開的傳統技術中，利用粘合劑將預定數量的工件放置于一個板，并且在加壓頭和加壓臺之間對工件和板進行加壓以使各工件一次粘附于板。預先調節加壓頭的加壓面以使加壓面平行于加壓臺。然而，在日本特開平5-82493號公報所公開的技術中具有以下缺陷。也就是，在預備階段，待拋光的工件的厚度并不恒定。在這種情況下，工件在加壓頭的加壓面和板的表面（加壓臺的表面）之間的間隙恒定的狀態下被加壓頭同時地壓向板的表面。在粘附厚的工件的情況下，從工件被擠出的粘合劑的量增大，因而工件通過薄的粘合劑層被粘附。另一方面，在粘附薄的工件的情況下，被擠出的粘合劑的量減少，因而工件通過厚的粘合劑層被粘附。如果在上述狀態下通過拋光裝置拋光工件，則不能解決拋光后工件的厚度不均的問題。例如，在粘附形成有氮化物半導體（例如氮化鎵）層的藍寶石基底的情況下，作為工件，藍寶石基底的厚度例如為大約900μm，并且通過拋光，該厚度被大大減小到例如大約為100μm。在將一個厚度為900μm的藍寶石基底和另一個厚度為920μm的藍寶石基底拋光成厚度減小800μm的情況下，拋光后的一個藍寶石基底的厚度變成100μm，拋光后的另一個藍寶石基底的厚度則變成120μm。因此，不能解決各工件厚度的差異，反而會使差異進一步增加。在待粘附的工件是通過在藍寶石基底上外延生長氮化物半導體（例如氮化鎵）層而進行制作的情況下，每個工件由具有不同熱膨脹系數的兩層構成，因此工件容易朝藍寶石基底側翹曲。通過利用加壓頭對藍寶石基底進行加壓可以消除翹曲的問題。然而，如果藍寶石基底的厚度不均，則對藍寶石基底的翹曲的消除程度不同。另外，難以完全消除薄的藍寶石基底的翹曲。
技術實現思路
因此，本專利技術的目的是提供能夠解決傳統技術的上述問題的用于粘附工件的方法和工件粘附裝置。也就是，通過本專利技術的方法和裝置，所粘附的工件被拋光成具有相同的厚度。為了實現這一目的，本專利技術具有以下結構。也就是，實施本專利技術的方法的工件粘附裝置包括：加壓臺；和多個加壓頭，多個加壓頭設置于加壓臺的上方并且能夠彼此獨立地靠近和遠離加壓臺地移動，其中，加壓臺和加壓頭將工件壓到板上并利用粘合劑使工件粘附至板。以上方法包括以下步驟：用每個加壓頭以相同的壓力將對應的一個工件壓到板上并且使一個工件粘附至板。優選地，該方法包括以下步驟：將已加熱到預定溫度的板輸送至加壓臺，或在加壓臺上將板加熱到預定溫度；將粘合劑涂布至已加熱到預定溫度的板的預定部分；將工件放置于被加熱并熔化的粘合劑上；使每個加壓頭均朝向加壓臺移動，以均在相同的壓力下將一個工件壓到板上并持續預定時間；通過在工件被加壓頭加壓的狀態下使粘合劑冷卻并固化而將工件粘附至板；以及使每個加壓頭均遠離加壓臺地移動，以將粘附有工件的板從加壓臺取出。實施另一個方法的工件粘附裝置包括：加壓臺，其包括加熱機構和冷卻機構；以及多個加壓頭，多個加壓頭設置于加壓臺的上方并且能夠彼此獨立地靠近和遠離加壓臺地移動，其中，加壓臺和加壓頭將工件壓到板上并利用粘合劑使工件粘附至板。該另一個方法包括以下步驟：將已加熱到預定溫度的板輸送至加壓臺，或在加壓臺上將板加熱到預定溫度；將粘合劑涂布至已加熱到預定溫度的板的預定部分；將工件放置于被加熱并熔化的粘合劑上；將加壓頭加熱到預定溫度；使每個加壓頭均朝向加壓臺移動，以均在相同的壓力下將對應的一個工件壓到板上并持續預定時間；通過在工件被加壓頭加壓的狀態下利用冷卻機構使加壓臺和板冷卻并使粘合劑固化而將工件粘附至板；以及使每個加壓頭均遠離加壓臺地移動，以將粘附有工件的板從加壓臺取出。優選地，在粘附工件的步驟中，檢測加壓頭的溫度，并且在確認到加壓頭的溫度低于預定溫度之后，停止加壓頭的加壓動作。優選地，在加熱臺上對板進行預加熱，加熱臺包括加熱器并且加熱臺獨立于加壓臺，并且將已加熱的板輸送到加壓臺。使加壓頭與加壓臺接觸，以使加壓頭被加熱到預定溫度。通過內置加熱器將各加壓頭加熱到預定溫度。各加壓頭均能夠繞滾珠軸承轉動，并且各加壓頭均跟隨板的表面轉動以便對工件加壓。將作為工件的、均形成有氮化物半導體層的各藍寶石基底在氮化物半導體層朝向板的狀態下粘附到板。本專利技術的工件粘附裝置包括：加壓臺；和多個加壓頭，多個加壓頭設置于加壓臺的上方并且能夠彼此獨立地靠近和遠離加壓臺地移動，其中，加壓臺和加壓頭將工件壓到板上并利用粘合劑使工件粘附至板，并且每個加壓頭均以相同的壓力將對應的一個工件壓到板上。優選地，各加壓頭被連接至共用供氣源，從而能夠以相同的壓力將工件壓到板上。優選地，加壓臺包括加熱機構和冷卻機構，并且對加壓臺和加壓頭進行加熱，將工件壓到涂布于板的粘合劑上以使粘合劑延展，然后通過冷卻機構使加壓臺和板冷卻，以使粘合劑固化并使工件粘附至板。優選地，工件粘附裝置進一步包括用于檢測加壓頭的溫度的溫度檢測部，其中，在冷卻加壓臺以固化粘合劑時，溫度檢測部檢測加壓頭的溫度，并且在確認到加壓頭的溫度低于預定溫度之后，停止加壓頭的加壓動作。優選地，溫度檢測部檢測各加壓頭的位于靠近加壓工件用的加壓面的位置的部分的溫度。優選地，使加壓頭與加壓臺接觸以使加壓頭被加熱到預定溫度。優選地，各加壓頭均包括加熱機構和冷卻機構，從而各加壓頭可以通過其自有的加熱機構和冷卻機構被加熱和冷卻。優選地，工件粘附裝置進一步包括加熱臺，加熱臺包括加熱器并且加熱臺獨立于加壓臺，其中，預先在加熱臺上加熱板，然后將已加熱的板輸送到加壓臺。優選地，冷卻機構內置于加壓臺的、位于與放置板的表面接近的位置的部分。優選地，工件粘附裝置進一步包括用于檢測已放置于加熱臺的板的溫度和用于檢測加壓臺和加熱臺的溫度的檢測部。通過實施本專利技術，加壓頭能夠獨立地以相同的壓力對工件進行加壓。即使工件的厚度變化，當粘附工件時，也可以從工件擠出多余的粘合劑并且使粘合劑層的厚度均一。因此，能夠將工件拋光成具有相同的厚度。附圖說明現在將通過實施例并參照附圖對本專利技術的實施方式進行說明，其中：圖1是工件粘附裝置的主視圖；圖2是加壓臺的局部剖視圖；圖3是板的說明圖；圖4是包括一個第一臺架和一個第二臺架的工件粘附裝置的主視圖。圖5是加壓頭的另一實施例本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于粘附工件的方法，所述方法在工件粘附裝置中實施，所述工件粘附裝置包括：加壓臺；和多個加壓頭，所述多個加壓頭設置于所述加壓臺的上方并且能夠彼此獨立地靠近和遠離所述加壓臺地移動，其中，所述加壓臺和所述加壓頭將所述工件壓到板上并利用粘合劑使所述工件粘附至所述板，所述方法包括以下步驟：用每個所述加壓頭以相同的壓力將對應的一個工件壓到所述板上并且使所述一個工件粘附至所述板。

【技術特征摘要】
2011.12.06 JP 2011-2669761.一種用于粘附工件的方法，所述方法在工件粘附裝置中實施，所述工件粘附裝置包括：加壓臺，其包括加熱機構和冷卻機構；以及多個加壓頭，所述多個加壓頭設置于所述加壓臺的上方并且能夠彼此獨立地靠近和遠離所述加壓臺地移動，其中，所述加壓臺和所述加壓頭將所述工件壓到板上并利用粘合劑使所述工件粘附至所述板，其特征在于，所述方法包括以下步驟：將已加熱到預定溫度的所述板輸送至所述加壓臺，或在所述加壓臺上將所述板加熱到預定溫度；將粘合劑涂布至已加熱到預定溫度的所述板的預定部分；將所述工件放置于被加熱并熔化的所述粘合劑上；將每個所述加壓頭加熱到預定溫度；使每個所述加壓頭均朝向所述加壓臺移動，用每個所述加壓頭相互獨立地以均在相同的壓力下將對應的一個工件壓到所述板上并持續預定時間；通過在所述工件被各所述加壓頭加壓的狀態下利用所述冷卻機構使所述加壓臺和所述板冷卻并使所述粘合劑固化而將所述工件粘附至所述板；以及使每個所述加壓頭均遠離所述加壓臺地移動，以將粘附有所述工件的所述板從所述加壓臺取出，在用每個所述加壓頭按壓工件并將工件粘附到所述板上的步驟中，檢測每個所述加壓頭的溫度，并且在確認到每個所述加壓頭的溫度低于預定溫度之后，停止每個所述加壓頭的加壓動作。2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在加熱臺上對所述板進行預加熱，所述加熱臺包括加熱器并且所述加熱臺獨立于所述加壓臺，并且將已加熱的所述板輸送到所述加壓臺。3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，使每個所述加壓頭與所述加壓臺接觸，以使每個所述加壓頭被加熱到預定溫度。4.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，通過內置加熱器將各所述加壓頭加熱到預定溫度。5.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，各所述加壓頭均能夠繞滾珠軸承轉動，并且各所述加壓頭均跟隨所述板的表面轉動以便對所述工件加壓。6.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，將作為所述工件的、均形成有氮化物半導體層的各藍寶石基底在所述氮化物半導體層...

【專利技術屬性】
技術研發人員：小布施敦史，寺澤光子，
申請(專利權)人：不二越機械工業株式會社，
類型：發明
國別省市：