一種PECVD輔助配件清洗機(jī)制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種PECVD輔助配件清洗機(jī)，包括：機(jī)架；酸洗系統(tǒng)，酸洗系統(tǒng)安裝于機(jī)架上，酸洗系統(tǒng)包括用于盛裝氫氟酸的酸槽；浸泡噴淋清洗系統(tǒng)，浸泡噴淋清洗系統(tǒng)安裝于機(jī)架上，浸泡噴淋清洗系統(tǒng)包括清洗槽，清洗槽中安裝有噴淋頭。酸洗系統(tǒng)用于對(duì)輔助配件進(jìn)行酸洗，氫氟酸與氮化硅之間具有如下反應(yīng)：Si3N4+4HF+9H2O=3H2SiO3，利用氫氟酸與氮化硅之間能夠反應(yīng)的特性，本實(shí)用新型專利技術(shù)對(duì)輔助配件的清潔不采用物理清除的方法，能夠避免輔助材料物理性能的變化。本實(shí)用新型專利技術(shù)采用氫氟酸與氮化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)實(shí)現(xiàn)對(duì)輔助配件的清洗，能夠使得本實(shí)用新型專利技術(shù)對(duì)輔助配件的清洗較為徹底，并且其清洗效果較佳。（*該技術(shù)在2023年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種PECVD輔助配件清洗機(jī)，其特征在于，包括：機(jī)架；酸洗系統(tǒng)，所述酸洗系統(tǒng)安裝于所述機(jī)架上，所述酸洗系統(tǒng)包括用于盛裝氫氟酸的酸槽（1）；浸泡噴淋清洗系統(tǒng)，所述浸泡噴淋清洗系統(tǒng)安裝于所述機(jī)架上，所述浸泡噴淋清洗系統(tǒng)包括清洗槽（2），所述清洗槽（2）中安裝有噴淋頭（21）。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：閆文啟，齊海洋，李盼，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：英利集團(tuán)有限公司，
類型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：