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本實用新型公開了一種PECVD輔助配件清洗機，包括：機架；酸洗系統，酸洗系統安裝于機架上，酸洗系統包括用于盛裝氫氟酸的酸槽；浸泡噴淋清洗系統，浸泡噴淋清洗系統安裝于機架上，浸泡噴淋清洗系統包括清洗槽，清洗槽中安裝有噴淋頭。酸洗系統用于對輔助...
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