真空傳輸制程設備及方法技術

本發明專利技術公開了一種真空傳輸制程設備及方法。該設備包括：一真空制程腔，包括一加工區域、一第一等待區域以及一第二等待區域；一能夠在大氣狀態與真空狀態之間切換的進出件腔；多個傳輸平臺，用于承載工件從大氣環境進入該進出件腔、從該進出件腔經過該第一等待區域或該第二等待區域進入該加工區域、在該加工區域中完成工件加工、從該加工區域經過該第一等待區域或該第二等待區域移回該進出件腔、然后從該進出件腔移回大氣環境，且各傳輸平臺用于依次連續地在該加工區域中完成工件加工。本發明專利技術僅設計了一個進出件腔便實現了工件的連續進出真空環境以及對工件的連續加工，由此實現了對加工介質的100％利用，從而極大地提高了加工效率。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及真空制程技術，特別是涉及一種真空傳輸制程設備以及一種利用該真空傳輸制程設備實現的真空傳輸制程方法。
技術介紹
新能源是二十一世紀世界經濟發展中最具決定力的五大
之一，太陽能便是一種清潔、高效、永不衰竭的新能源。在新世紀中，各國政府都將太陽能資源利用作為國家可持續發展戰略的重要內容，光伏發電具有安全可靠、無噪聲、無污染、制約少、故障率低、維護簡便等諸多優點。近幾年來，國際光伏發電產業迅猛發展，太陽能晶片供不應求，于是提高太陽能晶片的生產能力已經成為一個重要的課題。太陽能晶片的許多制程都是在真空制程腔中完成的，在真空制程腔中設有用于利用加工介質對太陽能晶片進行加工的加工裝置。為了提高太陽能晶片的生產效率，人們需要盡可能地優化太陽能晶片進出真空制程腔的移動路線，以使得太陽能晶片能夠盡可能連續地進出真空環境、并且盡可能連續地通過加工介質的有效作用范圍，從而提高對加工介質的利用率。目前業內已經提出了多種用于將太陽能晶片傳入真空制程腔完成加工、再將其傳出真空制程腔的真空傳輸制程設備，在這些真空傳輸制程設備中人們對太陽能晶片進出真空制程腔的移動路線進行了各種優化，以盡可能地提高加工效率。然而，在提高加工效率的同時，這些移動路線的優化卻在一定程度上導致了整個真空傳輸制程設備結構的復雜化，隨之而來的便是運行控制的復雜化以及運行可靠性的降低。例如，在現有的真空傳輸制程設備中，太陽能晶片通常都是由傳輸平臺承載著進出真空制程腔的，而為了使得大量的傳輸平臺能夠盡可能高效地運行，在真空制程腔兩側通常均需要設計至少一個用于在大氣環境與真空環境之間進行過渡的腔室。在一些設計中，位于真空制程腔一側的腔室僅用于供待加工的太陽能晶片進入真空環境，即為進件腔，而位于真空制程腔另一側的腔室則僅用于供完成加工的太陽能晶片離開真空環境，即為出件腔；而在另一些設計中，在真空制程腔兩側采用的則均為進出件腔，其既用于供待加工的太陽能晶片進入真空環境又用于供完成加工的太陽能晶片離開真空環境。而數量較多的進件腔、出件腔或是進出件腔無疑會提高整個真空傳輸制程設備的結構復雜性。
技術實現思路
本專利技術要解決的技術問題是為了克服現有技術中的真空傳輸制程設備通常在真空制程腔的兩側均需要設計用于工件進出的腔室，由此使得設備的整體結構復雜，從而會導致運行控制復雜 化以及運行可靠性降低的缺陷，提供一種在真空制程腔與大氣環境之間僅設計有一個進出件腔的真空傳輸制程設備以及一種利用該真空傳輸制程設備實現的真空傳輸制程方法。本專利技術是通過下述技術方案來解決上述技術問題的:一種真空傳輸制程設備，其特點在于，其包括:一真空制程腔，包括一加工區域、位于該加工區域一側的一第一等待區域以及位于該加工區域另一側的一第二等待區域；一能夠在大氣狀態與真空狀態之間切換的進出件腔，當該進出件腔處于真空狀態時，該進出件腔的接近該加工區域該側的一端能夠與該第一等待區域連通、該進出件腔的接近該加工區域該另一側的一端能夠與該第二等待區域連通；多個傳輸平臺，用于承載工件從大氣環境進入該進出件腔、從該進出件腔經過該第一等待區域或該第二等待區域進入該加工區域、在該加工區域中完成工件加工、從該加工區域經過該第一等待區域或該第二等待區域移回該進出件腔、然后從該進出件腔移回大氣環境，且各傳輸平臺用于依次連續地在該加工區域中完成工件加工。本專利技術對工件的種類不做限制，其可以為例如太陽能晶片。另外，要加以說明的是，在本專利技術中“第一”和“第二”僅用于對兩個等待區域進行區分，該兩個等待區域的設計在本專利技術中的地位實際上是完全對等的。本專利技術不再在該真空制程腔的兩側分別設計用于在大氣環境與真空環境之間進行過渡的腔室，而是將各傳輸平臺進出該真空制程腔的出口和入口統一為該進出件腔，這顯然極大地簡化了整個真空傳輸制程設備的結構。另外，考慮到每個傳輸平臺上的工件在該加工區域中完成加工是需要一定的時間的，而當傳輸平臺需要通過該進出件腔進入/離開真空環境時該進出件腔的抽真空/充氣也是需要一定的時間的，因此，本專利技術在該加工區域的兩側分別設計了該第一和第二等待區域，當該加工區域或該進出件腔正被其它傳輸平臺占用時，后續的傳輸平臺便可以在該第一或第二等待區域中暫時等待。利用該第一和第二等待區域的調節，本專利技術便得以實現:不但僅利用了一個進出件腔便完成了所有傳輸平臺的進出真空環境的操作，在此基礎上還進一步地保證了各傳輸平臺能夠依次連續地在該加工區域中完成工件加工，即前一傳輸平臺剛一離開該加工區域，后一傳輸平臺便立刻緊隨著進入該加工區域，這樣該加工區域中的工件加工便始終不會發生中斷，此時對加工介質的利用率顯然是最高的，實現的加工效率顯然也是最高的。較佳地，方案一:各傳輸平臺均用于從該進出件腔經過該第一等待區域進入該加工區域、奇數次移動通過該加工區域完成工件加工、然后從該加工區域經過該第二等待區域移回該進出件腔；或者，方案二:該些傳輸平臺中的部分傳輸平臺用于從該進出件腔經過該第一等待區域進入該加工區域、偶數次移動通過該加工區域完成工件加工、然后從該加工區域經過該第一等待區域移回該進出件腔，剩余傳輸平臺用于從該進出件腔經過該第二等待區域進入該加工區域、偶數次移動通過該加工區域完成工件加工、然后從該加工區域經過該第二等待區域移回該進出件腔，且來自該第一等待區域與該第二等待區域的傳輸平臺交替地在該加工區域中完成工件加工。較佳地，該加工區域、該第一等待區域、該進出件腔以及該第二等待區域連接成矩形或環形。本專利技術中的矩形既包括嚴格的矩形也包括近似的矩形，而環形同樣地既包括嚴格的環形也包括近似的環形。較佳地，當該加工區域中設有一個加工裝置時，該進出件腔僅用于在該加工裝置的加工介質未作用在工件上時與該第一等待區域或該第二等待區域連通；當該加工區域中設有兩個以上加工裝置時，該進出件腔僅用于在該兩個以上加工裝置中有至少一個加工裝置的加工介質未作用在工件上時與該第一等待區域或該第二等待區域連通。考慮到在實際生產中，即使在該進出件腔已經抽真空的狀態下，其真空度也未必能夠嚴格地達到該真空制程腔中的真空度標準，因此若是在工件加工的過程中連通該進出件腔與該真空制程腔，則有可能會引起該加工區域的真空度不足，從而影響到加工質量。因此較好的做法是，盡可能地在加工間隙，即在前后兩個傳輸平臺在加工介質的有效作用范圍內交接的時間節點連通該進出件腔與該真空制程腔。較佳地，當該加工區域中設有兩個以上加工裝置時，該進出件腔僅用于在該兩個以上加工裝置的加工介質均未作用在工件上時與該第一等待區域或該第二等待區域連通。較佳地，該些傳輸平臺分為多組，每組傳輸平臺中的各傳輸平臺在從大氣環境進入該進出件腔直至該組傳輸平臺中有一個傳輸平臺開始進入該加工區域為止的時間段中以及在從該組傳輸平臺全部移出該加工區域直至從該進出件腔移回大氣環境為止的時間段中均用于疊置地一同移動或等待。在除了工件加工的時間段以外的其它時間段中，都盡可能地使多個傳輸平臺一同運行，將能夠最大程度地降低每個傳輸平臺進出真空環境的平均耗時，從而進一步地提高加工效率。 較佳地，每組傳輸平臺中傳輸平臺的數量為2個。由于每個傳輸平臺上的工件完成加工是需要一定的時間的，因此使傳輸平臺兩兩成組會是較為合適的選擇。較佳地，各傳輸平臺均用于以長度本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種真空傳輸制程設備，其特征在于，其包括：一真空制程腔，包括一加工區域、位于該加工區域一側的一第一等待區域以及位于該加工區域另一側的一第二等待區域，該加工區域中設有一個或兩個以上的用于利用加工介質對工件進行加工的加工裝置；一能夠在大氣狀態與真空狀態之間切換的進出件腔，當該進出件腔處于真空狀態時，該進出件腔的接近該加工區域該側的一端能夠與該第一等待區域連通、該進出件腔的接近該加工區域該另一側的一端能夠與該第二等待區域連通；多個傳輸平臺，用于承載工件從大氣環境進入該進出件腔、從該進出件腔經過該第一等待區域或該第二等待區域進入該加工區域、在該加工區域中完成工件加工、從該加工區域經過該第一等待區域或該第二等待區域移回該進出件腔、然后從該進出件腔移回大氣環境，且各傳輸平臺用于依次連續地在該加工區域中完成工件加工。

【技術特征摘要】
1.一種真空傳輸制程設備，其特征在于，其包括: 一真空制程腔，包括一加工區域、位于該加工區域一側的一第一等待區域以及位于該加工區域另一側的一第二等待區域，該加工區域中設有一個或兩個以上的用于利用加工介質對工件進行加工的加工裝置； 一能夠在大氣狀態與真空狀態之間切換的進出件腔，當該進出件腔處于真空狀態時，該進出件腔的接近該加工區域該側的一端能夠與該第一等待區域連通、該進出件腔的接近該加工區域該另一側的一端能夠與該第二等待區域連通； 多個傳輸平臺，用于承載工件從大氣環境進入該進出件腔、從該進出件腔經過該第一等待區域或該第二等待區域進入該加工區域、在該加工區域中完成工件加工、從該加工區域經過該第一等待區域或該第二等待區域移回該進出件腔、然后從該進出件腔移回大氣環境，且各傳輸平臺用于依次連續地在該加工區域中完成工件加工。2.如權利要求1所述的真空傳輸制程設備，其特征在于，方案一:各傳輸平臺均用于從該進出件腔經過該第一等待區域進入該加工區域、奇數次移動通過該加工區域完成工件加工、然后從該加工區域經過該第二等待區域移回該進出件腔；或者，方案二:該些傳輸平臺中的部分傳輸平臺用于從該進出件腔經過該第一等待區域進入該加工區域、偶數次移動通過該加工區域完成工件加工、然后從該加工區域經過該第一等待區域移回該進出件腔，剩余傳輸平臺用于從該進出件腔經過該第二等待區域進入該加工區域、偶數次移動通過該加工區域完成工件加工、然后從該加工區域經過該第二等待區域移回該進出件腔，且來自該第一等待區域與該第二等待區域的傳輸平臺交替地在該加工區域中完成工件加工。3.如權利要求1所述的真空傳輸制程設備，其特征在于，該加工區域、該第一等待區域、該進出件腔以及該第二等待區域連接成矩形或環形。4.如權利要求1-3中任意一項所述的真空傳輸制程設備，其特征在于，當該加工區域中設有一個加工裝置時，該進出件腔僅用于在該加工裝置的加工介質未作用在工件上時與該第一等待區域或該第二等待區域連通；當該加工區域中設有兩個以上加工裝置時，該進出件腔僅用于在該兩個以上加工裝置中有至少一個加工裝置的加工介質未作用在工件上時與該第一等待區域或該第二等待區域連通。5.如權利要求4所述的真空傳輸制程設備，其特征在于，當該加工區域中設有兩個以上加工裝置時，該進出件腔僅用于在該兩個以上加工裝置的加工介質均未作用在工件上時與該第一等待區域或該第二等待區域連通。6.如權利要求1-5中任意一項所述的真空傳輸制程設備,其特征在于,該些傳輸平臺分為多組，每組傳輸平臺中的各傳輸平臺在從大氣環境進入該進出件腔直至該組傳輸平臺中有一個傳輸平臺開始進入該加工區域為止的時間段中以及在從該組傳輸平臺全部移出該加工區域直至從該進出件腔移回大氣環境為止的時間段中均用于疊置地一同移動或等待。7.如權利要求6所述的真空傳輸制程...

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳炯，錢鋒，
申請(專利權)人：上海凱世通半導體有限公司，
類型：發明
國別省市：