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本發明公開了一種真空傳輸制程設備及方法。該設備包括：一真空制程腔，包括一加工區域、一第一等待區域以及一第二等待區域；一能夠在大氣狀態與真空狀態之間切換的進出件腔；多個傳輸平臺，用于承載工件從大氣環境進入該進出件腔、從該進出件腔經過該第一等待...
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