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    下載波長可變干涉濾波器、濾光器設備、光模塊及電子設備的技術資料

    文檔序號:10360048

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    本發明提供了波長可變干涉濾波器、濾光器設備、光模塊及電子設備。第一驅動電極(36)的厚度尺寸形成得大于第一反射膜(35)的厚度尺寸及第一導電膜(37)的厚度尺寸的和,第一驅動電極(36)從固定基板(30)的表面延伸至第一導電膜(37)的外緣...
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