波長可變干涉濾波器、濾光器設備、光模塊及電子設備制造技術

本發明專利技術提供了波長可變干涉濾波器、濾光器設備、光模塊及電子設備。第一驅動電極（36）的厚度尺寸形成得大于第一反射膜（35）的厚度尺寸及第一導電膜（37）的厚度尺寸的和，第一驅動電極（36）從固定基板（30）的表面延伸至第一導電膜（37）的外緣部的表面并接觸，第二驅動電極（46）的厚度尺寸形成得大于第二反射膜（45）的厚度尺寸及第二導電膜（47）的厚度尺寸的和，第二驅動電極（46）從可動基板（40）的表面延伸至第二導電膜（47）的外緣部的表面并接觸。

【技術實現步驟摘要】
波長可變干涉濾波器、濾光器設備、光模塊及電子設備
[0001 ] 本專利技術涉及波長可變干涉濾波器、濾光器設備、光模塊及電子設備。
技術介紹
公知有使用波長可變干涉濾波器來測定入射的光的光譜的裝置。在專利文獻I中記載的可變干涉裝置公開了使反射膜作為驅動用電極而發揮功能的結構、以及使反射膜作為靜電電容監視器而發揮功能的結構。【先行技術文獻】【專利文獻】專利文獻1:日本特開平1-94312號公報在上述專利文獻I的構造中，對于使反射膜作為驅動用電極、靜電電容監視器而發揮功能則需要布線與反射膜連接的連接電極。反射膜為了兼具光的透過特性和反射特性的厚度尺寸而相對于連接電極形成得較薄。但是，在重疊形成了厚的膜厚的連接電極和薄的膜厚的反射膜的情況下，由于熱等外在因素、隨時間變化，所以存在薄的膜厚的反射膜的金屬原子在連接電極側擴散而發生斷線這樣的問題。
技術實現思路
本專利技術為了解決上述問題而提出，其可以作為以下的實施方式或適用例而實現。[適用例I]本適用例涉及的波長可變干涉濾波器具備:第一基板；第二基板，與所述第一基板相對；第一反射膜，設置于所述第一基板，反射入射的光的一部分并使一部分透過；第二反射膜，設置于所述第二基板，與反射入射的光的一部分并使一部分透過的所述第一反射膜相對配置；導電性的第一導電膜，層疊于所述第一反射膜；導電性的第二導電膜，層疊于所述第二反射膜；第一連接電極，設置于所述第一基板，在所述第一基板上與所述第一導電膜電連接；以及第二連接電極，設置于所述第二基板，在所述第二基板上與所述第二導電膜電連接，所述第一連接電極的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸和所述第一導電膜的厚度尺寸的和，所述第一連接電極從所述第一基板的表面延伸至所述第一導電膜的外緣部的表面并接觸，所述第二連接電極的厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸和所述第二導電膜的厚度尺寸的和，所述第二連接電極從所述第二基板的表面延伸至所述第二導電膜的外緣部的表面并接觸。根據該結構，第一連接電極從第一基板的表面延伸至第一導電膜的外緣部的表面并接觸，第一連接電極的厚度尺寸也大于第一反射膜及第一導電膜的厚度尺寸的和。并且，第二連接電極從第二基板的表面延伸至第二導電膜的外緣部的表面并接觸，第二連接電極的厚度尺寸也大于第二反射膜及第二導電膜的厚度尺寸的和。 這樣，通過第一導電膜、第二導電膜連接厚度尺寸小的第一反射膜、第二反射膜、以及厚度尺寸大的第一連接電極、第二連接電極。通過設置該第一導電膜、第二導電膜，從而可以確保連接部中的第一反射膜、第二反射膜和第一反射膜、第二反射膜之間的電連接。并且，可以防止第一導電膜、第二導電膜從連接部中的第一反射膜、第二反射膜向第一連接電極、第二連接電極的金屬原子的擴散，且可以抑制布線的斷線。據此，可以確保第一反射膜和第一連接電極之間的導通、第二反射膜和第二連接電極之間的導通，且可以提高布線的連接可靠性。[適用例2]在上述適用例涉及的波長可變干涉濾波器中，優選至少所述第一連接電極及所述第二連接電極中的一個與所述第一導電膜或所述第二導電膜的外緣部的整周接觸。根據該結構，第一連接電極、第二連接電極覆蓋第一導電膜、第二導電膜的外緣部的整周而接觸。據此，可以降低布線連接中的電阻抗，且可以進行良好的連接。[適用例3]在上述適用例涉及的波長可變干涉濾波器中，優選所述第一導電膜及所述第二導電膜是透明導電膜。根據該結構，第一導電膜及第二導電膜是透明導電膜。據此，可以通過不會損壞第一反射膜及第二反射膜的透光特性的方式形成導電膜。[適用例4]在上述適用例涉及的波長可變干涉濾波器中，優選所述第一導電膜及所述第二導電膜的材料是從銦類氧化物、錫類氧化物、鋅類氧化物及他們的混合物中選擇的材料。根據該結構，第一導電膜及所述第二導電膜的材料是從銦類氧化物、錫類氧化物、鋅類氧化物及他們的混合物中選擇的材料。通過使用這些材料作為第一導電膜及第二導電膜，從而可以有效地防止從第一反射膜、第二反射膜向第一驅動電極、第二驅動電極的擴散。并且，通過使用這些材料，從而可以從制造工序中的藥液中保護第一反射膜、第二反射膜。[適用例5]在上述適用例涉及的波長可變干涉濾波器中，優選所述第一反射膜及所述第二反射膜的材料是Ag或以Ag為主成分的合金。根據該結構，第一反射膜及第二反射膜的材料是Ag或以Ag為主成分的合金。通過使用Ag或以Ag為主成分的合金作為第一反射膜及第二反射膜,從而可以獲得透光特性、反射特性兩者都卓越的特性。[適用例6]在上述適用例涉及的波長可變干涉濾波器中，優選所述第二基板具備:可動部，設置有所述第二反射膜；以及保持部，在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板時，設置在所述可動部的外側，所述保持部的厚度尺寸小于所述可動部的厚度尺寸，所述保持部保持所述可動部能進退。根據該結構，具備:可動部，設置有第二反射膜；以及保持部，設置在外動部的外偵牝小于可動部的厚度尺寸，保持可動部能進退。在該構造中，通過外力撓曲保持部從而使可動部位移。并且，通過該位移使第一反射膜和第二反射膜之間的間隔變化，且可以容易地構成設反射膜間間隔可變的波長可變干涉濾波器。[適用例7]本適用例涉及的波長可變干涉濾波器具備:反射膜，反射入射的光的一部分并使一部分透過；導電性的導電膜，層疊于所述反射膜；以及連接電極，與所述導電膜電連接，所述連接電極的厚度尺寸形成得大于所述反射膜的厚度尺寸和所述導電膜的厚度尺寸的和，所述連接電極與所述導電膜的外緣部的表面重疊接觸。根據該結構，具備層疊于反射膜的導電性的導電膜，連接電極的厚度尺寸形成得大于反射膜的厚度尺寸及導電膜的厚度尺寸的和，連接電極與導電膜的外緣部的表面重疊接觸。通過設置該導電膜，從而可以確保連接部中的反射膜和反射膜之間的電連接。并且，可以防止導電膜從連接部中的反射膜向連接電極的金屬原子的擴散，且可以抑制布線的斷線。據此，可以確保反射膜和連接電極之間的導通，且可以提高布線的連接可靠性。[適用例8]本適用例涉及的濾光器設備具備:波長可變干涉濾波器；以及殼體，收容所述波長可變干涉濾波器，所述波長可變干涉濾波器具備:第一基板；第二基板，與所述第一基板相對；第一反射膜，設置于所述第一基板，反射入射的光的一部分并使一部分透過；第二反射膜，設置于所述第二基板，與反射入射的光的一部分并使一部分透過的所述第一反射膜相對配置；導電性的第一導電膜，層疊于所述第一反射膜；導電性的第二導電膜，層疊于所述第二反射膜；第一連接電極，設置于所述第一基板，在所述第一基板上與所述第一導電膜電連接；以及第二連接電極，設置于所述第二基板，在所述第二基板上與所述第二導電膜電連接，所述第一連接電極的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸和所述第一導電膜的厚度尺寸的和，所述第一連接電極從所述第一基板的表面延伸至所述第一導電膜的外緣部的表面并接觸，所述第二連接電極的厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸和所述第二導電膜的厚度尺寸的和，所述第二連接電極從所述第二基板的表面延伸至所述第二導電膜的外緣部的表面并接觸。根據該結構，第一連接電極從第一基板的表面延伸至第一導電膜的外緣部的表面并接觸，第一連接電極的厚度尺寸也大于第一反射膜及第一導電膜的厚度尺寸的和。并且，第二連接電極從第二基本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，具備：第一基板；第二基板，與所述第一基板相對；第一反射膜，設置于所述第一基板；第二反射膜，設置于所述第二基板，與所述第一反射膜相對配置；導電性的第一導電膜，層疊于所述第一反射膜；導電性的第二導電膜，層疊于所述第二反射膜；第一連接電極，設置于所述第一基板，在所述第一基板上與所述第一導電膜電連接；以及第二連接電極，設置于所述第二基板，在所述第二基板上與所述第二導電膜電連接，所述第一連接電極的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸和所述第一導電膜的厚度尺寸的和，所述第一連接電極從所述第一基板的表面延伸至所述第一導電膜的外緣部的表面并接觸，所述第二連接電極的厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸和所述第二導電膜的厚度尺寸的和，所述第二連接電極從所述第二基板的表面延伸至所述第二導電膜的外緣部的表面并接觸。

【技術特征摘要】
2013.02.22 JP 2013-0329361.一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，具備: 第一基板； 第二基板，與所述第一基板相對； 第一反射膜，設置于所述第一基板； 第二反射膜，設置于所述第二基板，與所述第一反射膜相對配置； 導電性的第一導電膜，層疊于所述第一反射膜； 導電性的第二導電膜，層疊于所述第二反射膜； 第一連接電極，設置于所述第一基板，在所述第一基板上與所述第一導電膜電連接；以及 第二連接電極，設置于所述第二基板，在所述第二基板上與所述第二導電膜電連接，所述第一連接電極的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸和所述第一導電膜的厚度尺寸的和， 所述第一連接電極從所述第一基板的表面延伸至所述第一導電膜的外緣部的表面并接觸， 所述第二連接電極的 厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸和所述第二導電膜的厚度尺寸的和， 所述第二連接電極從所述第二基板的表面延伸至所述第二導電膜的外緣部的表面并接觸。2.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于， 至少所述第一連接電極及所述第二連接電極中的一個與所述第一導電膜或所述第二導電膜的外緣部的整周接觸。3.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于， 所述第一導電膜及所述第二導電膜是透明導電膜。4.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于， 所述第一導電膜及所述第二導電膜的材料是從銦類氧化物、錫類氧化物、鋅類氧化物及他們的混合物中選擇的材料。5.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于， 所述第一反射膜及所述第二反射膜的材料是Ag或以Ag為主成分的合金。6.根據權利要求1至5中任一項所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于， 所述第二基板具備: 可動部，設置有所述第二反射膜；以及 保持部，在從基板厚度方向俯視觀察所述第二基板時，設置在所述可動部的外側，所述保持部的厚度尺寸小于所述可動部的厚度尺寸，所述保持部保持所述可動部能進退。7.一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，具備: 反射膜，反射入射的光的一部分并使一部分透過； 導電性的導電膜，層疊于所述反射膜；以及 連接電極，與所述導電膜電連接， 所述連接電極的厚度尺寸形成得大于所述反射膜的厚度尺寸和所述導電膜的厚度尺寸的和，所述連接電極與所述導電膜的外緣部的表面重疊接觸。8.—種濾光器設備,其特征在于,具備: 波長可變干涉濾波器；以及 殼體，收容所述波長可變干涉濾波器， 所述波長可變干涉濾波器具備: 第一基板； 第二基 板，與所述第一基板相對； 第一反射膜，設置于所述第一基板； 第二反射膜，設置于所述第二基板，與所述第一反射膜相對配置； 導電...

【專利技術屬性】
技術研發人員：新東晉，坂下友樹，
申請(專利權)人：精工愛普生株式會社，
類型：發明
國別省市：日本;JP