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本發明公開了一種絕緣柵雙極型晶體管及其制作方法，所述絕緣柵雙極型晶體管包括：集電區；位于所述集電區表面上的超結漂移區；位于所述超結漂移區表面上的有源區以及第一終端結構，所述第一終端結構包圍所述有源區；包圍所述超結漂移區以及第一終端結構的第二...該專利屬于中國科學院微電子研究所;江蘇物聯網研究發展中心;江蘇中科君芯科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院微電子研究所;江蘇物聯網研究發展中心;江蘇中科君芯科技有限公司授權不得商用。