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    下載具有垂直溝道的隧穿晶體管、可變電阻存儲器及制造方法的技術資料

    文檔序號:11992615

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    一種隧穿晶體管,包括:半導體襯底,源極在半導體襯底上形成在上部區域中,并且半導體襯底具有第一半導體材料層;柱體,其形成在半導體襯底上,并且具有順序層疊有溝道層和漏極的結構;柵極,其形成為包圍柱體的周緣;以及第二半導體材料層,其構成源極的一部...
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