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本發明涉及半導體制造領域中的勻膠顯影設備，具體地說是一種單排風口勻膠顯影腔體，包括上勻膠腔體、中勻膠腔體、整流板及下勻膠腔體，其中下勻膠腔體的底部設有一個排風口，所述下勻膠腔體的頂部設有上勻膠腔體，所述上勻膠腔體和下勻膠腔體之間設有中勻膠腔...該專利屬于沈陽芯源微電子設備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過沈陽芯源微電子設備有限公司授權不得商用。
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本發明涉及半導體制造領域中的勻膠顯影設備，具體地說是一種單排風口勻膠顯影腔體，包括上勻膠腔體、中勻膠腔體、整流板及下勻膠腔體，其中下勻膠腔體的底部設有一個排風口，所述下勻膠腔體的頂部設有上勻膠腔體，所述上勻膠腔體和下勻膠腔體之間設有中勻膠腔...