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待在支持膜上形成的化學增幅型正型抗蝕劑干膜包含5-40重量％的在大氣壓下具有55℃至250℃的沸點的組分。可以通過簡單的步驟制備具有柔性和尺寸穩定性的抗蝕劑干膜。可以將所述抗蝕劑干膜有效地和簡易地置于制品上并加工，以形成圖案。...
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