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提供一種在納米器件中制造納米間隙的技術。在晶片上設置氧化物。在氧化物上設置納米線。施加氦離子束以將納米線切割成第一納米線部分和第二納米線部分，從而在納米器件中形成納米間隙。施加氦離子束切割納米間隙在納米間隙的至少一個開口附近形成納米線材料的...
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