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本發明提出直寫式光刻機掃描采用不等距觸發進行圖形校正的方法，屬于圖形校正技術領域。該不等距圖形校正方法首先通過若干個工件臺位置觸發信號標定Trigger的長度；然后將圖形掃描的整個行程范圍分為多個校正段，每個校正段中均定義四個寄存器，所述四...該專利屬于無錫影速半導體科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過無錫影速半導體科技有限公司授權不得商用。
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本發明提出直寫式光刻機掃描采用不等距觸發進行圖形校正的方法，屬于圖形校正技術領域。該不等距圖形校正方法首先通過若干個工件臺位置觸發信號標定Trigger的長度；然后將圖形掃描的整個行程范圍分為多個校正段，每個校正段中均定義四個寄存器，所述四...