直寫式光刻機(jī)掃描采用不等距觸發(fā)進(jìn)行圖形校正的方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)提出直寫式光刻機(jī)掃描采用不等距觸發(fā)進(jìn)行圖形校正的方法，屬于圖形校正技術(shù)領(lǐng)域。該不等距圖形校正方法首先通過若干個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)標(biāo)定Trigger的長(zhǎng)度；然后將圖形掃描的整個(gè)行程范圍分為多個(gè)校正段，每個(gè)校正段中均定義四個(gè)寄存器，所述四個(gè)寄存器分別定義校正段的起點(diǎn)、終點(diǎn)、校正間隔以及校正方向；最后根據(jù)每個(gè)校正段內(nèi)圖像的錯(cuò)位方向，結(jié)合對(duì)應(yīng)校正段內(nèi)四個(gè)寄存器的定義內(nèi)容實(shí)現(xiàn)圖像的校正。該方法具有圖形校正能力強(qiáng)，校正效果好等特點(diǎn)。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及直寫式光刻機(jī)掃描不等距圖形校正方法，屬于圖形校正

技術(shù)介紹
直寫式光刻機(jī)設(shè)備又稱影像直接轉(zhuǎn)移設(shè)備，是半導(dǎo)體及PCB生產(chǎn)領(lǐng)域中有別于傳統(tǒng)半自動(dòng)曝光設(shè)備的一個(gè)重要設(shè)備。是利用圖形發(fā)生器取代傳統(tǒng)光刻機(jī)的掩模板，從而可以直接將計(jì)算機(jī)的圖形數(shù)據(jù)曝光到晶圓或PCB板上，節(jié)省制板時(shí)間和制作掩模板的費(fèi)用，并且自身可用做掩模板的制作。目前在基于掃描技術(shù)的投影過程中，如何保證圖形翻轉(zhuǎn)與承載晶圓或PCB基板的工件臺(tái)保持同步，是一個(gè)比較困難的問題。較常用的兩種方法是基于工件臺(tái)位置信號(hào)和基于時(shí)間控制來觸發(fā)光刻機(jī)進(jìn)行圖形翻轉(zhuǎn)，但這兩種方法都會(huì)存在一個(gè)缺點(diǎn)。因?yàn)槊恳慌_(tái)設(shè)備工件臺(tái)的實(shí)際運(yùn)動(dòng)軌跡因安裝誤差、環(huán)境不同等等，都不可能按照理想的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。實(shí)際的工件臺(tái)，都會(huì)考核其運(yùn)動(dòng)過程中Yaw、Pitch、Roll值，這三個(gè)值會(huì)導(dǎo)致平臺(tái)在運(yùn)動(dòng)過程中與實(shí)際位置有所偏差，對(duì)影像轉(zhuǎn)移所帶來的最直觀的一個(gè)現(xiàn)象就是每個(gè)場(chǎng)內(nèi)及場(chǎng)間，圖形由上至下產(chǎn)生拼接錯(cuò)位不一致及變形的問題。現(xiàn)有技術(shù)中的校正方法均采用等距校正方法，該方法不僅校正效果不佳，并且不能消除工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)誤差所帶來的各掃描視場(chǎng)間拼接不一致的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，本專利技術(shù)提出了一種直寫式光刻機(jī)掃描不等距圖形校正方法，所采取的技術(shù)方案如下：所述不等距圖形校正方法首先通過若干個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)標(biāo)定Trigger(觸發(fā)器)的長(zhǎng)度；然后將圖形掃描的整個(gè)行程范圍分為多個(gè)校正段，每個(gè)校正段中均定義四個(gè)寄存器，所述四個(gè)寄存器分別定義校正段的起點(diǎn)、終點(diǎn)、校正間隔以及校正方向；最后根據(jù)每個(gè)校正段內(nèi)圖像的錯(cuò)位方向，結(jié)合對(duì)應(yīng)校正段內(nèi)四個(gè)寄存器的定義內(nèi)容實(shí)現(xiàn)圖像的校正。優(yōu)選地，所述校正方法的具體步驟為：第一步：采用多個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)觸發(fā)多次圖形發(fā)生器，使圖形翻轉(zhuǎn)多；其中，每相鄰兩次圖像發(fā)生器的工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)的個(gè)數(shù)不想同；第二步：將第一步中所述用多個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)觸發(fā)一次圖像發(fā)生器定義為一個(gè)Trigger(觸發(fā)器)，記做TriggerP，其中，P的取值與工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)觸發(fā)次數(shù)相對(duì)應(yīng)；第三步：對(duì)圖像進(jìn)行掃描，按照?qǐng)D形掃描后各掃描視場(chǎng)間的誤差測(cè)量所得(拼接誤差的測(cè)量是PCB生產(chǎn)的工藝部分，曝光機(jī)曝光過后，經(jīng)過顯影，然后在顯微鏡或線寬測(cè)量?jī)x下進(jìn) 行測(cè)量)的拼接誤差，將圖形掃描的整個(gè)行程范圍分為M個(gè)校正段；其中，M為大于等于1的整數(shù)；第四步：在第三步所述M個(gè)校正段中的每個(gè)校正段內(nèi)均定義四個(gè)寄存器，分別為一號(hào)寄存器，二號(hào)寄存器，三號(hào)寄存器和四號(hào)寄存器，所述一號(hào)寄存器定義其所在校正段的校正段起點(diǎn)；所述二號(hào)寄存器定義其所在校正段的校正段終點(diǎn)；所述三號(hào)寄存器定義其所在校正段的校正間隔；所述四號(hào)寄存器定義其所在校正段的校正方向；第五步：從第1個(gè)校正段開始，檢測(cè)該校正段內(nèi)是否存在圖像錯(cuò)位，如存在圖像錯(cuò)位，根據(jù)該校正段內(nèi)圖像的錯(cuò)位方向確定四號(hào)寄存器的校正方向，并對(duì)該校正段內(nèi)的錯(cuò)位圖像進(jìn)行校正；第六步：重復(fù)第五步檢測(cè)過程，對(duì)第2個(gè)校正段內(nèi)的圖像進(jìn)行檢測(cè)及圖像校正處理，直至完成第M個(gè)校正段內(nèi)圖像的檢測(cè)及校正處理。優(yōu)選地，每經(jīng)歷一個(gè)第二步所述的Trigger信號(hào)，工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)觸發(fā)圖像發(fā)生器翻轉(zhuǎn)一次圖像。優(yōu)選地，第三步所述M個(gè)校正段，每個(gè)校正段包含若干個(gè)Trigger，并且其包含的每相鄰的兩個(gè)Trigger內(nèi)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)的個(gè)數(shù)不同。優(yōu)選地，第四步所述校正間隔由Trigger的個(gè)數(shù)決定。優(yōu)選地，第四步所述校正方向包括正向校正和負(fù)向校正；所述正向校正過程中每個(gè)兩個(gè)Trigger，增加一個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)；所述負(fù)向校正過程中每個(gè)兩個(gè)Trigger，減少一個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)。優(yōu)選地，第五步所述圖像的錯(cuò)位方向?yàn)檎蝈e(cuò)位，則定義四號(hào)寄存器的校正方向?yàn)樨?fù)向校正；第五步所述圖像的錯(cuò)位方向?yàn)樨?fù)向錯(cuò)位，則定義四號(hào)寄存器的校正方向?yàn)檎蛐Ｕ１緦＠夹g(shù)有益效果：(1)、本專利技術(shù)提出的校正方法采用不等距校正方法對(duì)直寫式光刻機(jī)掃描圖像的錯(cuò)位現(xiàn)象進(jìn)行校正，克服了傳統(tǒng)直寫式光刻機(jī)中采用等距方法進(jìn)行校正的技術(shù)偏見；(2)、該方法在圖像校正過程中糾正了在影像轉(zhuǎn)移的過程中，因平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)誤差所導(dǎo)致的圖形的翻轉(zhuǎn)與平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)不能夠保持同步進(jìn)行，使影像轉(zhuǎn)移在各掃描視場(chǎng)間，圖形由上至下產(chǎn)生拼接錯(cuò)位不一致及變形的問題。使圖像誤差及錯(cuò)位問題得到有效消除，其消除率高達(dá)98％，很好的達(dá)到設(shè)備的要求規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)。附圖說明圖1為使用3個(gè)(N＝3)PSO信號(hào)組成一個(gè)Trigger信號(hào)的示意圖；圖2一個(gè)校正段內(nèi)進(jìn)行圖形正向校正的示意圖。圖3一個(gè)校正段內(nèi)進(jìn)行圖形負(fù)向校正的示意圖。圖4工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)誤差導(dǎo)致圖形錯(cuò)位及變形示意圖。圖5圖形校正過程示意圖一。圖6圖形校正過程示意圖二。圖7圖形校正過程示意圖三。圖8圖形校正過程示意圖四。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本專利技術(shù)做進(jìn)一步說明，但本專利技術(shù)不受實(shí)施例的限制。如圖4所示，工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)誤差導(dǎo)致圖形錯(cuò)位及變形示意圖。在理論的圖形掃描過程中，不同的掃描條帶會(huì)有很好的拼接效果。但由于平臺(tái)會(huì)存在運(yùn)動(dòng)誤差，導(dǎo)致實(shí)際的各掃描條帶因平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)誤差帶來圖形變形及拼接錯(cuò)位。本專利技術(shù)提供了一種直寫式光刻機(jī)掃描不等距校正方法，所述不等距圖形校正方法首先通過P個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)標(biāo)定Trigger的長(zhǎng)度；然后將圖形掃描的整個(gè)行程范圍分為M個(gè)校正段，每個(gè)校正段中均定義四個(gè)寄存器，所述四個(gè)寄存器分別定義校正段的起點(diǎn)、終點(diǎn)、校正間隔以及校正方向；最后根據(jù)每個(gè)校正段內(nèi)圖像的錯(cuò)位方向，結(jié)合對(duì)應(yīng)校正段內(nèi)四個(gè)寄存器的定義內(nèi)容實(shí)現(xiàn)圖像的校正。實(shí)施例1圖形校正的具體過程如下：首先定義N個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)(PSO)為一個(gè)Trigger信號(hào)，每經(jīng)歷一個(gè)Trigger信號(hào)，圖形發(fā)生器就會(huì)翻轉(zhuǎn)一次圖形。N取值越大時(shí)，對(duì)圖行校正的精度就越高，并且，每相鄰的兩個(gè)Trigger信號(hào)中N的取值不同，即每相鄰兩個(gè)Trigger信號(hào)鐘的工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)的個(gè)數(shù)不同；具體取值需要參照工件臺(tái)的實(shí)際分辨能力，如圖1所示，N取值為3，即一個(gè)Trigger信號(hào)信號(hào)中包括3個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)(PSO)。針對(duì)校正的具體步驟為：第一步：采用3個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)觸發(fā)一次圖形發(fā)生器，使圖形翻轉(zhuǎn)第一次；第二步：將第一步中所述用3個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)觸發(fā)的第一次圖形發(fā)生器記做Trigger1，并依次按觸發(fā)圖形發(fā)生器的次數(shù)定義Trigger，直至第N次觸發(fā)圖形發(fā)生器記做TriggerN；其中，Trigger1、Trigger2……TriggerN中每相鄰的兩個(gè)Trigger信號(hào)中所包含的工件 臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)的個(gè)數(shù)不同；第三步：按照?qǐng)D形掃描后各掃描視場(chǎng)間的誤差測(cè)量所得的拼接誤差，將圖形掃描的整個(gè)行程范圍分為3個(gè)校正段；第四步：在第三步所述3個(gè)校正段中的每個(gè)校正段內(nèi)均定義四個(gè)寄存器，分別為一號(hào)寄存器，二號(hào)寄存器，三號(hào)寄存器和四號(hào)寄存器；第1個(gè)校正段中，一號(hào)寄存器定義Trigger1為校正起點(diǎn)；二號(hào)寄存器定義Trigger5為校正終點(diǎn)；三號(hào)寄存器定義其所在校正段的校正間隔為兩個(gè)Trigger信號(hào)，即在本校正段內(nèi)，每隔兩個(gè)Trigger實(shí)施一次校正；所述四號(hào)寄存器定義其所在校正段的校正方向；第2個(gè)校正段和第3個(gè)校正段中均包含5個(gè)Trigger信號(hào)，每段中的校正起點(diǎn)和校正終點(diǎn)根據(jù)本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
直寫式光刻機(jī)掃描不等距圖形校正方法，其特征在于，所述不等距圖形校正方法首先通過若干個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)標(biāo)定Trigger的長(zhǎng)度；然后將圖形掃描的整個(gè)行程范圍分為多個(gè)校正段，每個(gè)校正段中均定義四個(gè)寄存器，所述四個(gè)寄存器分別定義校正段的起點(diǎn)、終點(diǎn)、校正間隔以及校正方向；最后根據(jù)每個(gè)校正段內(nèi)圖像的錯(cuò)位方向，結(jié)合對(duì)應(yīng)校正段內(nèi)四個(gè)寄存器的定義內(nèi)容實(shí)現(xiàn)圖像的校正。

【技術(shù)特征摘要】
1.直寫式光刻機(jī)掃描不等距圖形校正方法，其特征在于，所述不等距圖形校正方法首先通過若干個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)標(biāo)定Trigger的長(zhǎng)度；然后將圖形掃描的整個(gè)行程范圍分為多個(gè)校正段，每個(gè)校正段中均定義四個(gè)寄存器，所述四個(gè)寄存器分別定義校正段的起點(diǎn)、終點(diǎn)、校正間隔以及校正方向；最后根據(jù)每個(gè)校正段內(nèi)圖像的錯(cuò)位方向，結(jié)合對(duì)應(yīng)校正段內(nèi)四個(gè)寄存器的定義內(nèi)容實(shí)現(xiàn)圖像的校正。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述不等距圖形校正方法，其特征在于，所述校正方法的具體步驟為：第一步：采用多個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)觸發(fā)多次圖形發(fā)生器，使多次圖形翻轉(zhuǎn)；其中，每相鄰兩次圖像發(fā)生器的工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)的個(gè)數(shù)不相同；第二步：將第一步中所述用多個(gè)工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)觸發(fā)一次圖像發(fā)生器定義為一個(gè)Trigger，記做TriggerP，其中，P的取值與工件臺(tái)位置觸發(fā)信號(hào)觸發(fā)次數(shù)相對(duì)應(yīng)；第三步：對(duì)圖像進(jìn)行掃描，按照?qǐng)D形掃描后各掃描視場(chǎng)間的誤差測(cè)量所得的拼接誤差，將圖形掃描的整個(gè)行程范圍分為M個(gè)校正段；其中，M為大于等于1的整數(shù)；第四步：根據(jù)第三步所述的拼接誤差，在所述M個(gè)校正段中的每個(gè)校正段內(nèi)均定義四個(gè)寄存器，分別為一號(hào)寄存器，二號(hào)寄存器，三號(hào)寄存器和四號(hào)寄存器，所述一號(hào)寄存器定義其所在校正段的校正段起點(diǎn)；所述二號(hào)寄存器定義其所在校正段的校正段終點(diǎn)；所述三號(hào)寄存器定義其所在校正段的校正間隔；所述四號(hào)寄存器定義其所在校正段的校正方向；第五...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳海巍，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：江蘇;32