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本實用新型涉及一種窗口式氮化硅板，包括有硅墊底層，其特點是：硅墊底層的上方外圍設置有單晶硅外框，硅墊底層上分布有凹槽結構，凹槽內分布有若干單晶硅支架梁，若干單晶硅支架梁相互之間間隔排布，構成框架陣列，框架陣列之間形成氮化硅窗口，硅墊底層的上...該專利屬于蘇州原位芯片科技有限責任公司所有，僅供學習研究參考，未經過蘇州原位芯片科技有限責任公司授權不得商用。
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本實用新型涉及一種窗口式氮化硅板，包括有硅墊底層，其特點是：硅墊底層的上方外圍設置有單晶硅外框，硅墊底層上分布有凹槽結構，凹槽內分布有若干單晶硅支架梁，若干單晶硅支架梁相互之間間隔排布，構成框架陣列，框架陣列之間形成氮化硅窗口，硅墊底層的上...