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一種裝置包括：第一設(shè)備，被配置為將至少一個襯底支撐在其上；以及第一運輸機(jī)，該設(shè)備連接到第一運輸機(jī)。運輸機(jī)被配置為承載該設(shè)備。運輸機(jī)包括：多個支撐件，其沿線性路徑相對于彼此可移動；至少一個磁性軸承，其至少部分地將支撐件耦合到彼此。磁性軸承中的...該專利屬于柿子技術(shù)公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過柿子技術(shù)公司授權(quán)不得商用。