襯底運(yùn)輸真空平臺(tái)制造技術(shù)

一種裝置包括：第一設(shè)備，被配置為將至少一個(gè)襯底支撐在其上；以及第一運(yùn)輸機(jī)，該設(shè)備連接到第一運(yùn)輸機(jī)。運(yùn)輸機(jī)被配置為承載該設(shè)備。運(yùn)輸機(jī)包括：多個(gè)支撐件，其沿線性路徑相對(duì)于彼此可移動(dòng)；至少一個(gè)磁性軸承，其至少部分地將支撐件耦合到彼此。磁性軸承中的第一磁性軸承包括第一永磁體和第二磁體。第一永磁體連接到支撐件中的第一支撐件。磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器連接到第一支撐件，磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器被配置為相對(duì)于第二磁體移動(dòng)第一永磁體和/或改變第一永磁體的磁場(chǎng)的影響。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來(lái)華專利技術(shù)】
示例性的且非限制性的實(shí)施例總體涉及用于運(yùn)輸襯底的系統(tǒng)，并且更具體地涉及用于在真空中運(yùn)輸襯底的具有線性配置的系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
用于半導(dǎo)體、LED或其他適當(dāng)?shù)膽?yīng)用的襯底處理系統(tǒng)可以涉及在真空或其他適當(dāng)?shù)沫h(huán)境中對(duì)襯底的運(yùn)輸。在要求真空運(yùn)輸?shù)膽?yīng)用中，存在涉及使用單個(gè)處理模塊或者備選地使用串聯(lián)處理模塊或四元處理模塊的平臺(tái)架構(gòu)。單個(gè)處理模塊可以具有單個(gè)處理位置，而串聯(lián)處理模塊或四元處理模塊可以具有兩個(gè)處理位置，其中兩個(gè)襯底可以緊挨著被處理并由真空機(jī)器人同時(shí)拾取或放置。處理模塊通常以放射狀布置被布置在真空腔室上，真空腔室具有在處理模塊與裝載鎖之間運(yùn)輸襯底的機(jī)器人。在提供了大量模塊的情況下在使用處理模塊時(shí)出現(xiàn)問(wèn)題。需要大的放射狀運(yùn)輸腔室來(lái)將襯底運(yùn)輸?shù)窖b載鎖和從裝載鎖運(yùn)輸，以及運(yùn)輸?shù)揭粋€(gè)或多個(gè)模塊和從一個(gè)或多個(gè)模塊運(yùn)輸，從而要求大的覆蓋區(qū)(footprint)或占地空間。在覆蓋區(qū)成本處于微電子制造環(huán)境內(nèi)的溢價(jià)情況下，存在對(duì)具有減小的覆蓋區(qū)的襯底運(yùn)輸平臺(tái)的期望。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
根據(jù)示例性實(shí)施例的一個(gè)方面，提供了一種裝置，該裝置包括：第一設(shè)備，被配置為將至少一個(gè)襯底支撐在其上；以及第一運(yùn)輸機(jī)，該設(shè)備連接到第一運(yùn)輸機(jī)，其中運(yùn)輸機(jī)被配置為承載該設(shè)備，其中運(yùn)輸機(jī)包括：多個(gè)支撐件，多個(gè)支撐件沿線性路徑相對(duì)于彼此可移動(dòng)；至少一個(gè)磁性軸承，至少一個(gè)磁性軸承至少部分地將支撐件耦合到彼此，其中磁性軸承中的第一磁性軸承包括第一永磁體和第二磁體，其中第一永磁體連接到支撐件中的第一支撐件；以及磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器，磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器連接到第一支撐件，磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器被配置為相對(duì)于第二磁體移動(dòng)第一永磁體和/或改變第一永磁體的磁場(chǎng)的影響。根據(jù)示例性實(shí)施例的另一方面，提供了一種裝置，該裝置包括：設(shè)備，被配置為將至少一個(gè)襯底支撐在其上；以及運(yùn)輸機(jī)，該設(shè)備連接到運(yùn)輸機(jī)，其中運(yùn)輸機(jī)被配置為承載該設(shè)備，其中運(yùn)輸機(jī)包括：第一支撐件，包括第一電容性接口；以及第二支撐件，包括第二電容性接口，其中第二支撐件沿線性路徑可移動(dòng)地連接到第一支撐件，并且其中第一電容性接口和第二電容性接口被確定大小、成形和相對(duì)于彼此定位以提供非接觸式電容性功率耦合并且允許在第一電容性接口和第二電容性接口之間的熱傳遞。根據(jù)示例性實(shí)施例的另一方面，提供了一種裝置，該裝置包括：設(shè)備，被配置為將至少一個(gè)襯底支撐在其上；以及運(yùn)輸機(jī)，該設(shè)備連接到運(yùn)輸機(jī)，其中運(yùn)輸機(jī)被配置為承載該設(shè)備，其中運(yùn)輸機(jī)包括：多個(gè)支撐件，多個(gè)支撐件沿線性路徑相對(duì)于彼此可移動(dòng)，其中支撐件中的第一支撐件包括在其上的熱輻射器；第一磁性軸承，第一磁性軸承至少部分地將支撐件耦合，其中第一磁性軸承是非接觸式軸承；在支撐件之間的第一功率耦合，其中第一功率耦合是非接觸式功率耦合；以及第一熱泵，連接到第一支撐件，其中第一磁性軸承和第一功率耦合中的至少一個(gè)包括至少一個(gè)有源熱生成部件，并且其中第一熱泵被配置為將來(lái)自至少一個(gè)有源熱生成部件的熱泵送到熱輻射器。根據(jù)另一方面，一種示例方法包括：將第一支撐件耦合到包括磁性軸承的第二支撐件，其中第一支撐件在第一支撐件不接觸第二支撐件的情況下沿線性路徑相對(duì)于第二支撐件可移動(dòng)，其中磁性軸承包括第一支撐件上的永磁體；將磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器定位在第一支撐件上，其中磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器被配置為相對(duì)于磁性軸承的第二磁體移動(dòng)第一永磁體和/或改變第一永磁體的磁場(chǎng)的影響；以及將第一設(shè)備連接到第一支撐件或第二支撐件，其中支撐件被配置為使該設(shè)備移動(dòng)，其中第一設(shè)備被配置為在第一設(shè)備的移動(dòng)期間將至少一個(gè)襯底支撐在其上。根據(jù)另一方面，一種示例方法包括：提供運(yùn)輸機(jī)，該運(yùn)輸機(jī)包括：第一支撐件，包括第一電容性接口；以及第二支撐件，包括第二電容性接口，其中第二支撐件沿線性路徑可移動(dòng)地連接到第一支撐件，并且其中第一電容性接口和第二電容性接口被確定大小、成形和相對(duì)于彼此定位以提供非接觸式電容性功率耦合并且允許在第一電容性接口和第二電容性接口之間的熱傳遞；以及將設(shè)備連接到運(yùn)輸機(jī)，其中該設(shè)備被配置為在該設(shè)備由運(yùn)輸機(jī)移動(dòng)時(shí)將至少一個(gè)襯底支撐在其上，其中運(yùn)輸機(jī)被配置為使該設(shè)備移動(dòng)以由此使至少一個(gè)襯底移動(dòng)。根據(jù)另一方面，在一種由機(jī)器可讀取的非瞬態(tài)程序存儲(chǔ)設(shè)備中提供示例實(shí)施例，非瞬態(tài)程序存儲(chǔ)設(shè)備有形地體現(xiàn)由機(jī)器可運(yùn)行以執(zhí)行操作的指令的程序，該操作包括：確定運(yùn)輸機(jī)中的第一支撐件和第二支撐件之間的距離，其中被配置為將至少一個(gè)襯底支撐在其上的第一設(shè)備連接到第一支撐件，其中支撐件沿線性路徑相對(duì)于彼此可移動(dòng)，其中第一支撐件和第二支撐件通過(guò)磁性軸承耦合到彼此，其中磁性軸承包括第一永磁體和第二磁體，其中第一永磁體連接到第一支撐件，其中運(yùn)輸機(jī)包括連接到第一支撐件的磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器，磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器被配置為相對(duì)于第二磁體移動(dòng)第一永磁體和/或改變第一永磁體的磁場(chǎng)的影響，其中運(yùn)輸機(jī)包括連接到其的設(shè)備；以及控制磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器以實(shí)質(zhì)上維持在第一支撐件與第二支撐件之間的距離。附圖說(shuō)明在結(jié)合附圖進(jìn)行的以下描述中解釋前述方面和其他特征，其中：圖1是示例襯底運(yùn)輸平臺(tái)的頂視圖；圖2是示例襯底運(yùn)輸平臺(tái)的頂視圖；圖3是示例襯底運(yùn)輸平臺(tái)的示意性截面圖；圖4是示例襯底運(yùn)輸平臺(tái)的部分示意性截面圖；圖5是示例襯底運(yùn)輸平臺(tái)的示意性截面圖；圖6是示例襯底運(yùn)輸平臺(tái)的示意性截面圖；圖7是功率耦合的示意圖；圖8是功率耦合的示意圖；圖9是示例襯底運(yùn)輸平臺(tái)的示意圖；圖10是熱泵的示意圖；圖11是壓力對(duì)比熱傳遞百分比圖形；圖12是通信耦合的示意圖；圖13是功率耦合的示意圖；圖14是功率耦合的示意圖；圖15是控制算法的示意圖；圖16是驅(qū)動(dòng)部分的部分截面；圖17是驅(qū)動(dòng)部分的部分截面；圖18是驅(qū)動(dòng)部分的部分截面；以及圖19是驅(qū)動(dòng)部分的部分截面。具體實(shí)施方式參考圖1，示出了示例襯底運(yùn)輸系統(tǒng)和機(jī)器人100的示意性頂部平面視圖。盡管將參考附圖中示出的示例實(shí)施例描述特征，但是應(yīng)當(dāng)理解本專利技術(shù)可以以許多形式的備選實(shí)施例來(lái)體現(xiàn)。另外，可以使用任何適當(dāng)大小、形狀或類型的材料或元件。所公開(kāi)的示例實(shí)施例涉及用于在制造半導(dǎo)體或其他適當(dāng)?shù)脑O(shè)備中使用的真空處理和運(yùn)輸系統(tǒng)。示出的運(yùn)輸系統(tǒng)涉及具有矩形運(yùn)輸腔室的系統(tǒng)，但是在備選方面中，自動(dòng)化裝置可以涉及任何適當(dāng)?shù)南到y(tǒng)，線性的、放射狀的或其組合。考慮不同的途徑，包括提供一個(gè)或多個(gè)線性驅(qū)動(dòng)的襯底支撐件、一個(gè)或多個(gè)線性驅(qū)動(dòng)的機(jī)器人和沒(méi)有輔助管束環(huán)路或具有部分輔助管束環(huán)路的線性驅(qū)動(dòng)的機(jī)器人。所公開(kāi)的僅僅是示例性的，并且不同示例的組合和子組合可以被提供以針對(duì)給定應(yīng)用進(jìn)行優(yōu)化。常規(guī)機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器可以與線性運(yùn)輸特征進(jìn)行組合，例如設(shè)置有將水運(yùn)輸?shù)剿心K的單個(gè)機(jī)器人或者設(shè)置有兩個(gè)或更多個(gè)機(jī)器人，其中每個(gè)機(jī)器人將水運(yùn)輸?shù)侥K的1/2，或者例如其中每個(gè)機(jī)器人將水運(yùn)輸?shù)?個(gè)相反的模塊或不同的模塊。此處，可以支持不同操作模式，例如具有一個(gè)或多個(gè)兩端執(zhí)行器水交換的快速交換或者具有一端執(zhí)行器水交換的單個(gè)交換。另外，在提供了2個(gè)或更多個(gè)機(jī)器人的情況下可以提供并行水運(yùn)輸和交換。在這種方法的情況下，處理模塊(PM)、模塊、裝載鎖或其他可以被添加到工具的末端。此處，覆蓋區(qū)取決于機(jī)器人類型并且提供兩個(gè)或更多個(gè)機(jī)器人可能要求額外的切換。在其中機(jī)器人在線性軌道上行駛的方法中，可以提供一個(gè)或多個(gè)機(jī)器人，其中每個(gè)將水運(yùn)輸?shù)揭恍┗蛩心K。可以提供線性軌道，例如線性驅(qū)動(dòng)器和滑動(dòng)裝置，其中軌道長(zhǎng)度可以是本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種裝置，包括：第一設(shè)備，被配置為將至少一個(gè)襯底支撐在其上；以及第一運(yùn)輸機(jī)，所述設(shè)備連接到所述第一運(yùn)輸機(jī)，其中所述運(yùn)輸機(jī)被配置為承載所述設(shè)備，其中所述運(yùn)輸機(jī)包括：多個(gè)支撐件，所述多個(gè)支撐件沿線性路徑相對(duì)于彼此可移動(dòng)；至少一個(gè)磁性軸承，所述至少一個(gè)磁性軸承至少部分地將所述支撐件耦合到彼此，其中所述磁性軸承中的第一磁性軸承包括第一永磁體和第二磁體，其中所述第一永磁體連接到所述支撐件中的第一支撐件；以及磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器，所述磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器連接到所述第一支撐件，所述磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器被配置為相對(duì)于所述第二磁體移動(dòng)所述第一永磁體和/或改變所述第一永磁體的磁場(chǎng)的影響。

【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來(lái)華專利技術(shù)】2014.01.21 US 61/929,5361.一種裝置，包括：第一設(shè)備，被配置為將至少一個(gè)襯底支撐在其上；以及第一運(yùn)輸機(jī)，所述設(shè)備連接到所述第一運(yùn)輸機(jī)，其中所述運(yùn)輸機(jī)被配置為承載所述設(shè)備，其中所述運(yùn)輸機(jī)包括：多個(gè)支撐件，所述多個(gè)支撐件沿線性路徑相對(duì)于彼此可移動(dòng)；至少一個(gè)磁性軸承，所述至少一個(gè)磁性軸承至少部分地將所述支撐件耦合到彼此，其中所述磁性軸承中的第一磁性軸承包括第一永磁體和第二磁體，其中所述第一永磁體連接到所述支撐件中的第一支撐件；以及磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器，所述磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器連接到所述第一支撐件，所述磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器被配置為相對(duì)于所述第二磁體移動(dòng)所述第一永磁體和/或改變所述第一永磁體的磁場(chǎng)的影響。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述設(shè)備包括關(guān)節(jié)機(jī)器人和襯底穿梭機(jī)中的至少一個(gè)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述支撐件包括至少一個(gè)固定導(dǎo)軌。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述第二磁體連接到所述第一支撐件和所述第二支撐件中的一個(gè)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述第二磁體包括電磁體或永磁體。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述支撐件形成非接觸式熱耦合，所述非接觸式熱耦合具有交錯(cuò)的相對(duì)表面，所述交錯(cuò)的相對(duì)表面被配置為根據(jù)壓力通過(guò)輻射和對(duì)流來(lái)將熱傳遞到彼此。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述第一支撐件包括第一電容性接口；其中所述支撐件中的第二支撐件包括第二電容性接口，并且其中所述第一電容性接口和所述第二電容性接口被確定大小、成形和相對(duì)于彼此定位以提供非接觸式電容性功率耦合并允許在所述第一電容性接口和所述第二電容性接口之間的熱傳遞。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述第一支撐件包括在其上的熱輻射器，其中所述第一磁性軸承是非接觸式軸承，并且其中所述裝置還包括：在所述第一支撐件與所述支撐件中的第二支撐件之間的第一功率耦合，其中所述第一功率耦合是非接觸式功率耦合；以及第一熱泵，連接到所述第一支撐件，其中所述第一磁性軸承和所述第一功率耦合中的至少一個(gè)包括至少一個(gè)有源熱生成部件，并且其中所述第一熱泵被配置為將來(lái)自所述至少一個(gè)有源熱生成部件的熱泵送到所述熱輻射器。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，還包括在所述支撐件之間的非接觸式通信耦合。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，還包括：第二設(shè)備，被配置為將至少一個(gè)襯底支撐在其上；以及第二運(yùn)輸機(jī)，所述第二設(shè)備連接到所述第二運(yùn)輸機(jī)，其中所述第二運(yùn)輸機(jī)被配置為承載所述第二設(shè)備，其中所述第二運(yùn)輸機(jī)包括：多個(gè)第二支撐件，所述多個(gè)第二支撐件沿線性路徑相對(duì)于彼此可移動(dòng)；以及至少一個(gè)第二磁性軸承，所述至少一個(gè)第二磁性軸承至少部分地將所述第二支撐件耦合，其中所述運(yùn)輸機(jī)被配置為在所述設(shè)備至少部分地在彼此之上經(jīng)過(guò)的情況下使所述設(shè)備移動(dòng)。11.一種襯底運(yùn)輸裝置，包括：腔室，形成封閉環(huán)境；以及根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述支撐件中的第二支撐件固定地處于所述腔室的壁上。12.一種裝置，包括：設(shè)備，被配置為將至少一個(gè)襯底支撐在其上；以及運(yùn)輸機(jī)，所述設(shè)備連接到所述運(yùn)輸機(jī)，其中所述運(yùn)輸機(jī)被配置為承載所述設(shè)備，其中所述運(yùn)輸機(jī)包括：第一支撐件，包括第一電容性接口；以及第二支撐件，包括第二電容性接口，其中所述第二支撐件沿線性路徑可移動(dòng)地連接到所述第一支撐件，并且其中所述第一電容性接口和所述第二電容性接口被確定大小、成形和相對(duì)于彼此定位以提供非接觸式電容性功率耦合并且允許在所述第一電容性接口和所述第二電容性接口之間的熱傳遞。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中所述電容性接口包括交錯(cuò)的相對(duì)表面，所述交錯(cuò)的相對(duì)表面被配置為根據(jù)壓力通過(guò)輻射和對(duì)流來(lái)將熱傳遞到彼此。14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中所述裝置包括：至少一個(gè)磁性軸承，所述至少一個(gè)磁性軸承至少部分地將所述第一支撐件和所述第二支撐件耦合到彼此，其中所述磁性軸承中的第一磁性軸承包括第一永磁體和第二磁體，其中所述第一永磁體連接到所述第一支撐件；以及磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器，所述磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器連接到所述第一支撐件，所述磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器被配置為相對(duì)于所述第二磁體移動(dòng)所述第一永磁體和/或改變所述第一永磁體的磁場(chǎng)的影響。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其中所述第二磁體連接到所述第一支撐件和所述第二支撐件中的一個(gè)。16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其中所述第二磁體包括電磁體或永磁體。17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中所述設(shè)備包括關(guān)節(jié)機(jī)器人和襯底穿梭機(jī)中的至少一個(gè)。18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中所述支撐件包括至少一個(gè)固定導(dǎo)軌。19.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中所述第一支撐件包括在其上的熱輻射器，其中所述第一磁性軸承是非接觸式軸承，并且其中所述裝置還包括：在所述第一支撐件與所述第二支撐件之間的第一功率耦合，其中所述第一功率耦合是非接觸式功率耦合；以及第一熱泵，所述第一熱泵連接到所述第一支撐件，其中所述第一磁性軸承和所述第一功率耦合中的至少一個(gè)包括至少一個(gè)有源熱生成部件，并且其中所述第一熱泵被配置為將來(lái)自所述至少一個(gè)有源熱生成部件的熱泵送到所述熱輻射器。20.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，還包括在所述支撐件之間的非接觸式通信耦合。21.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，還包括：第二設(shè)備，被配置為將至少一個(gè)襯底支撐在其上；以及第二運(yùn)輸機(jī)，所述第二設(shè)備連接到所述第二運(yùn)輸機(jī)，其中所述第二運(yùn)輸機(jī)被配置為承載所述第二設(shè)備，其中所述第二運(yùn)輸機(jī)包括：多個(gè)第二支撐件，所述多個(gè)第二支撐件沿線性路徑相對(duì)于彼此可移動(dòng)；以及至少一個(gè)第二磁性軸承，所述至少一個(gè)第二磁性軸承至少部分地將所述第二支撐件耦合，其中所述運(yùn)輸機(jī)被配置為在所述設(shè)備至少部分地在彼此之上經(jīng)過(guò)的情況下使所述設(shè)備移動(dòng)。22.一種襯底運(yùn)輸裝置，包括：腔室，形成封閉環(huán)境；以及根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中所述第二支撐件固定地處于所述腔室的壁上。23.一種裝置，包括：設(shè)備，被配置為將至少一個(gè)襯底支撐在其上；以及運(yùn)輸機(jī)，所述設(shè)備連接到所述運(yùn)輸機(jī)，其中所述運(yùn)輸機(jī)被配置為承載所述設(shè)備，其中所述運(yùn)輸機(jī)包括：多個(gè)支撐件，所述多個(gè)支撐件沿線性路徑相對(duì)于彼此可移動(dòng)，其中所述支撐件中的第一支撐件包括在其上的熱輻射器；第一磁性軸承，所述第一磁性軸承至少部分地將所述支撐件耦合，其中所述第一磁性軸承是非接觸式軸承；在所述支撐件之間的第一功率耦合，其中所述第一功率耦合是非接觸式功率耦合；以及第一熱泵，連接到所述第一支撐件，其中所述第一磁性軸承和所述第一功率耦合中的至少一個(gè)包括至少一個(gè)有源熱生成部件，并且其中所述第一熱泵被配置為將來(lái)自所述至少一個(gè)有源熱生成部件的熱泵送到所述熱輻射器。24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置，其中所述第一熱泵包括蒸汽壓縮熱泵或熱電熱泵。25.一種方法，包括：將第一支撐件耦合到包括磁性軸承的第二支撐件，其中所述第一支撐件在所述第一支撐件不接觸所述第二支撐件的情況下沿線性路徑相對(duì)于所述第二支撐件可移動(dòng)，其中所述磁性軸承包括所述第一支撐件上的永磁體；將磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器定位在所述第一支撐件上，其中所述磁場(chǎng)調(diào)節(jié)器被配置為相對(duì)于所述磁性軸承的第二磁體移動(dòng)所述第一永磁...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：C·霍夫邁斯特，M·霍塞克，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：柿子技術(shù)公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：美國(guó);US