【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】具有多套連桿機構的分布式架構機器人
[0001]示例和非限制性實施例總體上涉及物料搬運機器人，并且更特別地涉及具有分布式致動器的物料搬運機器人，分布式致動器用于控制多套連桿機構并且適于在半導體處理系統中操縱和傳送諸如半導體晶片的有效載荷。
技術介紹
[0002]在真空環境中操作的物料搬運機器人通常使用集中式致動器。此類機器人一般包括機器人臂、驅動單元和控制系統，驅動單元容納用于移動機器人臂的所有致動器，控制系統接收外部輸入并且引導致動器來執行機器人臂的期望運動和/或將機器人臂移動至期望位置。
技術實現思路
[0003]根據一個方面，一種設備，包括驅動器；可動臂，可動臂包括樞轉連接至驅動器的底座、第一連桿機構和第二連桿機構，第一連桿機構包括能夠在第一旋轉關節處在底座上旋轉的第一連桿、在第二旋轉關節處連接至第一連桿的第二連桿，以及在第三旋轉關節處連接至第二連桿的第三連桿，第三連桿包括第一末端執行器，第一末端執行器被配置為承載第一有效載荷，并且第二連桿機構包括能夠在第四旋轉關節處在底座上旋轉的第四連桿、在第五旋轉關節處連接至第四連桿的第五連桿，以及在第六旋轉關節處連接至第五連桿的第六連桿，第六連桿包括第二末端執行器，第二末端執行器被配置為承載第二有效載荷。該設備還包括被耦接至驅動器的主控制器，主控制器被配置為控制可動臂和底座相對于驅動器的運動協調。第一旋轉關節包括第一肩輪，并且第四旋轉關節包括第二肩輪，第一肩輪和第二肩輪經由基本上剛性的柱連接至底座。第一連桿能夠通過附接至底座的第一致動器圍繞第一旋轉關節旋轉...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】1.一種設備，包括：驅動器；可動臂，所述可動臂包括，底座，所述底座被樞轉連接至所述驅動器，第一連桿機構，包括，第一連桿，所述第一連桿能夠在第一旋轉關節處在所述底座上旋轉，第二連桿，所述第二連桿在第二旋轉關節處連接至所述第一連桿，以及第三連桿，所述第三連桿在第三旋轉關節處連接至所述第二連桿，所述第三連桿包括第一末端執行器，所述第一末端執行器被配置為承載第一有效載荷，以及第二連桿機構，包括，第四連桿，所述第四連桿能夠在第四旋轉關節處在所述底座上旋轉，第五連桿，所述第五連桿在第五旋轉關節處連接至所述第四連桿，以及第六連桿，所述第六連桿在第六旋轉關節處連接至所述第五連桿，所述第六連桿包括第二末端執行器，所述第二末端執行器被配置為承載第二有效載荷；耦接至所述驅動器的主控制器，所述主控制器被配置為控制所述可動臂和所述底座相對于所述驅動器的運動協調；其中所述第一旋轉關節包括第一肩輪，并且所述第四旋轉關節包括第二肩輪，所述第一肩輪和所述第二肩輪經由基本上剛性的柱被連接至所述底座；其中所述第一連桿能夠通過附接至所述底座的第一致動器圍繞所述第一旋轉關節旋轉；其中所述第四連桿能夠通過附接至所述底座的第二致動器圍繞所述第四旋轉關節旋轉。2.根據權利要求1所述的設備，其中所述驅動器包括主致動器，所述主致動器被配置為引起所述底座在所述驅動器上的樞轉。3.根據權利要求1所述的設備，其中所述第一肩輪、所述第一致動器、所述第二肩輪和所述第二致動器被同軸地布置。4.根據權利要求1所述的設備，其中所述第一肩輪和所述第一致動器被同軸地布置，并且與所述第二肩輪和所述第二致動器的同軸布置偏移。5.根據權利要求1所述的設備，其中所述第二連桿機構的所述第四連桿和所述第五連桿被嵌套在所述第一連桿機構中。6.根據權利要求1所述的設備，其中所述第一連桿的長度不等于所述第四連桿的長度。7.根據權利要求1所述的設備，其中所述第一連桿的長度等于所述第四連桿的長度。8.根據權利要求1所述的設備，其中所述第六連桿包括橋接件，所述橋接件將所述第二末端執行器提升到所述第三連桿上方。9.根據權利要求1所述的設備，還包括位于所述底座和所述驅動器之間的熱耦合器。10.根據權利要求1所述的設備，還包括耦合器，所述耦合器被配置為在所述底座和所述驅動器之間傳輸功率和通信信號中的一者或多者。11.根據權利要求1所述的設備，其中所述主控制器還與至少一個子控制器通信，所述至少一個子控制器位于所述可動臂和所述驅動器中的至少一者中。
12.一種設備，包括：驅動器；第一可動臂，所述第一可動臂包括，底座，所述底座被樞轉連接至所述驅動器，第一連桿機構，包括，第一連桿，所述第一連桿能夠在第一旋轉關節處在所述底座上旋轉，第二連桿，所述第二連桿在第二旋轉關節處連接至所述第一連桿，以及第三連桿，所述第三連桿在第三旋轉關節處連接至所述第二連桿，所述第三連桿包括第一末端執行器，所述第一末端執行器被配置為承載第一有效載荷，以及第二連桿機構，包括，第四連桿，所述第四連桿能夠在第四旋轉關節處在所述底座上旋轉，第五連桿，所述第五連桿在第五旋轉關節處連接至所述第四連桿，以及第六連桿，所述第六連桿在第六旋轉關節處連接至所述第五連桿，所述第六連桿包括第二末端執行器，所述第二末端執行器被配置為承載第二有效載荷；以及耦接至所述驅動器的主控制器，所述主控制器被配置為控制所述第一可動臂和所述底座相對于所述驅動器的運動協調；其中所述第一旋轉關節包括第一肩輪，并且所述第四旋轉關節包括第二肩輪，所述第一肩輪和所述第二肩輪可旋轉地被連接至所述底座并且能夠獨立地致動；其中所述第一連桿能夠通過附接至所述底座的第一致動器圍繞所述第一旋轉關節旋轉；其中所述第四連桿能夠通過附接至所述底座的第二致動器圍繞所述第四旋轉關節旋轉；其中所述第一肩輪和所述第二肩輪能夠通過附接至所述底座的第三致動器獨立地致動。13.根據權利要求12所述的裝置，其中所述第一致動器、所述第二致動器和所述第三致動器被同軸地布置。14.根據權利要求12所述的裝置，其中所述第三致動器被配置為允許所述第一末端執行器和所述第二末端執行器的獨立定位。15.根據權利要求12所述的設備，還包括主致動器，所述主致動器被配置為引起所述底座和附接至所述底座的第四致動器在所述驅動器上的樞轉，其中所述主致動器、所述第一致動器、所述第二致動器和所述第四致動器被配置為提供四個獨立控制的運動軸線，以獨立地定位所述第一末端執行器和所述第二末端執行器。16.根據權利要求12所述的設備，還包括第二可動臂，所述第二可動臂包括第三連桿機構和第四連桿機構，所述第三連桿機構包括多個連桿，所述第四連桿機構包括多個連桿，所述第三連桿機構和所述第四連桿機構均分別通過第三肩輪和第四肩輪連接至所述底座，所述第三肩輪和所述第四肩輪經由基本上剛性的柱連接至所述底座。17.一種設備，包括：驅動器；可動臂，所述可動臂包括，
底座，所述底座被樞轉連接至所述驅動器，所述底座包括上部和下部，第一連桿機構，所述第一連桿機構包括至少一個第一連桿并且被配置為承載第一有效載荷...
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