【技術實現步驟摘要】
示例性和非限制性實施例總體上涉及基板傳送機器人組件。
技術介紹
1、用于傳送基板的機器人是已知的。用于傳送基板傳送機器人的線性驅動系統也是已知的，例如在美國專利公開號us2016/0229296a1、us2013/0071218?a1、us2015/0214086a1和us2017/0028546a1中描述的，這些專利通過引用整體并入本文。
技術實現思路
1、以下
技術實現思路
僅旨在作為示例。
技術實現思路
并非旨在限制權利要求的范圍。
2、根據一個方面，提供了一種裝置，該在包括第一設備和第一傳送器，第一設備被配置為將基板支撐在其上，第一傳送器連接有第一設備，其中第一傳送器被配置為支撐第一設備以用于沿著水平路徑的移動，其中第一傳送器包括至少兩個軌道、磁性系統和磁性系統，磁性系統被配置為利用在第一設備與至少兩個軌道之間的間隙，將第一設備豎直間隔在至少兩個軌道之上，其中磁性系統包括在第一設備的第一面的第一角部處的第一電磁致動器、在第一設備的第一面的第二角部處的第二電磁致動器、以及在第一設備的相對的第二面處的第三電磁致動器，其中第三電磁致動器沒有定位為靠近第一設備的三個面的角部，線性致動器被配置為沿著至少兩個軌道在路徑中移動第一設備。
3、根據另一方面，提供了一種方法，該方法包括：靠近第一設備的第一面的第一角部連接第一電磁致動器，其中第一角部位于第一設備的三個面處，其中第一設備被配置為將基板支撐在第一設備上，其中第一電磁致動器是連接有第一設備的第一傳送器的磁性系統的一部
4、根據另一方面，提供了一種方法，該方法包括：控制第一電磁致動器將第一設備的第一角部豎直間隔在第一軌道之上，其中第一電磁致動器是第一傳送器的一部分，第一傳送器被配置為利用在第一設備與軌道之間的間隙，將第一設備豎直磁性間隔在第一軌道和第二軌道之上，其中第一傳送器被配置為支撐第一設備以用于沿著水平路徑的移動，其中第一角部位于第一設備的三個面處，其中第一設備被配置為將基板支撐在第一設備上；控制磁性系統的第二電磁致動器將第一設備的不同的第二角部豎直間隔在第一軌道之上，其中第二角部位于第一設備的三個面處，其中第一角部和第二角部位于第一設備的第一面處；以及控制磁性系統的第三電磁致動器將第一設備豎直間隔在第二軌道之上，其中第三電磁致動器位于第一設備的相對的第二面處，并且其中第三電磁致動器沒有定位為靠近第一設備的三個面的角部。
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1.一種用于磁性導向物料搬運的裝置，包括：
2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述第一電磁致動器、所述第二電磁致動器和所述第三電磁致動器是將所述第一設備豎直間隔在所述至少兩個引導件之上的專有致動器。
3.根據權利要求1所述的裝置，其中所述第一電磁致動器和所述第二電磁致動器每個被配置為在所述第一設備與第一引導件之間產生相對的水平力。
4.根據權利要求3所述的裝置，其中所述第三電磁致動器被配置為在所述第一設備與第二引導件之間不產生水平力。
5.根據權利要求4所述的裝置，其中所述第一電磁致動器和所述第二電磁致動器每個被配置為在第一方向上在所述第一設備與所述第一引導件之間產生水平力，并且所述裝置還包括第四電磁致動器和第五電磁致動器，所述第四電磁致動器和所述第五電磁致動器分別靠近所述第一設備的三個面的相應的第三角部和第四角部，其中所述第四電磁致動器和所述第五電磁致動器中的每個被配置為在與所述第一方向相對的第二方向上在所述第一設備與所述第二引導件之間產生水平力。
6.根據權利要求4所述的裝置，還包括：第六電磁致動器，所述第四電磁致動
7.根據權利要求4所述的裝置，其中所述至少兩個引導件包括在所述第一引導件與所述第二引導件之間的第三引導件，其中所述裝置還包括在所述第三引導件處的第四電磁致動器和第五電磁致動器，其中所述第四電磁致動器和所述第五電磁致動器每個被配置為在所述第一設備與所述第三引導件之間產生相對的水平力。
8.根據權利要求1所述的裝置，其中所述第一設備包括其中具有機器人電機的機器人外殼、以及被連接到所述機器人電機的機器人臂，其中所述機器人臂位于所述機器人外殼的外部，其中所述機器人臂包括末端執行器，所述末端執行器被配置為將所述基板支撐在所述末端執行器上，其中所述第一面是所述機器人外殼的第一側面并且所述第二面是所述機器人外殼的相對的第二側面。
9.根據權利要求4所述的裝置，還包括在所述第一電磁致動器處的第一傳感器、在所述第二電磁致動器處的第二傳感器、以及在所述第三電磁致動器處的第三傳感器，其中所述傳感器被配置為測量所述第一設備相對于所述第一引導件和所述第二引導件的位置。
10.根據權利要求1所述的裝置，還包括被配置為與控制器通信的無線通信設備，所述控制器與所述裝置分離。
11.根據權利要求10所述的裝置，其中所述無線通信設備被配置為周期性地向所述控制器發送來自所述裝置的電機放大器的所有運動軸的位置、來自所述裝置的輸入/輸出模塊的數字和模擬輸入的狀態、以及來自所述裝置的所述輸入/輸出模塊的數字輸入變化的定時。
12.根據權利要求11所述的裝置，其中所述無線通信設備被配置為向所述控制器發送來自所述電機放大器的數字和模擬輸入的狀態和/或來自所述電機放大器的數字輸入變化的定時。
13.根據權利要求10所述的裝置，其中所述無線通信設備被配置為從所述控制器接收去往電機放大器的每個運動軸的命令電流、以及用于設置去往輸入/輸出模塊的數字和模擬輸出的信息。
14.根據權利要求13所述的裝置，其中所述無線通信設備被配置為從所述控制器接收用于設置去往所述電機放大器的數字和模擬輸出的信息。
15.一種用于磁性導向物料搬運的方法，包括：
16.根據權利要求15所述的方法，其中所述第一電磁致動器、所述第二電磁致動器和所述第三電磁致動器是將所述第一設備豎直間隔在所述至少兩個引導件之上的專有致動器。
17.根據權利要求15所述的方法，其中所述第一電磁致動器和所述第二電磁致動器每個被配置為在所述第一設備與所述第一引導件之間產生相對的水平力。
18.根據權利要求17所述的方法，其中所述第三電磁致動器被配置為在所述第一設備與所述第二引導件之間不產生水平力。
19.根據權利要求15所述的方法，其中所述第一電磁致動器和所述第二電磁致動器每個被配置為在第一方向上在所述第一設備與所述第一引導件之間產生水平力，并且其中所述方法還包括分別靠近所述第一設備的三個面的相應的第三角部和第四角部連接第四電磁致動器和第五電磁致動器，其中所述第四電磁致動器和所述第五電磁致動器中的每個被配置為在與所述第一方向相對的第...
【技術特征摘要】
1.一種用于磁性導向物料搬運的裝置，包括：
2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述第一電磁致動器、所述第二電磁致動器和所述第三電磁致動器是將所述第一設備豎直間隔在所述至少兩個引導件之上的專有致動器。
3.根據權利要求1所述的裝置，其中所述第一電磁致動器和所述第二電磁致動器每個被配置為在所述第一設備與第一引導件之間產生相對的水平力。
4.根據權利要求3所述的裝置，其中所述第三電磁致動器被配置為在所述第一設備與第二引導件之間不產生水平力。
5.根據權利要求4所述的裝置，其中所述第一電磁致動器和所述第二電磁致動器每個被配置為在第一方向上在所述第一設備與所述第一引導件之間產生水平力，并且所述裝置還包括第四電磁致動器和第五電磁致動器，所述第四電磁致動器和所述第五電磁致動器分別靠近所述第一設備的三個面的相應的第三角部和第四角部，其中所述第四電磁致動器和所述第五電磁致動器中的每個被配置為在與所述第一方向相對的第二方向上在所述第一設備與所述第二引導件之間產生水平力。
6.根據權利要求4所述的裝置，還包括：第六電磁致動器，所述第四電磁致動器被定位為靠近所述第一設備的所述第一面，被配置為在第一方向上在所述第一設備與所述第一引導件之間產生水平力；以及第四電磁致動器和第五電磁致動器，所述第四電磁致動器和所述第五電磁致動器分別靠近所述第一設備的三個面的相應的第三角部和第四角部，其中所述第四電磁致動器和所述第五電磁致動器中的每個被配置為在與所述第一方向相對的第二方向上在所述第一設備與所述第二引導件之間產生水平力。
7.根據權利要求4所述的裝置，其中所述至少兩個引導件包括在所述第一引導件與所述第二引導件之間的第三引導件，其中所述裝置還包括在所述第三引導件處的第四電磁致動器和第五電磁致動器，其中所述第四電磁致動器和所述第五電磁致動器每個被配置為在所述第一設備與所述第三引導件之間產生相對的水平力。
8.根據權利要求1所述的裝置，其中所述第一設備包括其中具有機器人電機的機器人外殼、以及被連接到所述機器人電機的機器人臂，其中所述機器人臂位于所述機器人外殼的外部，其中所述機器人臂包括末端執行器，所述末端執行器被配置為將所述基板支撐在所述末端執行器上，其中所述第一面是所述機器人外殼的第一側面并且所述第二面是所述機器人外殼的相對的第二側面。
9.根據權利要求4所述的裝置，還包括在所述第一電磁致動器處的第一傳感器、在所述第二電磁致動器處的第二傳感器、以及在所述第三電磁致動器處的第三傳感器，其中所述傳感器被配置為測量所述第一設備相對于所述第一引導件和所述第二引導件的位置。
10.根據權利要求1所述的裝置，還包括被配置為與控制器通信的無線通信設備，所述控制器與所述裝置分離。
11.根據權利要求10所述的裝置，其中所述無線通信設備被配置為周期性地向所述控制器發送來自所述裝置的電機放大器的所有運動軸的位置、來自所述裝置的輸入/輸出模塊的數字和模擬輸入的狀態、以及來自所述裝置的所述輸入/輸出模塊的數字輸入變化的定時。
12.根據權利要求11所述的裝置，其中所述無線通信設備被配置為...
【專利技術屬性】
技術研發人員：M·霍塞克，S·薩，S·弗拉什，
申請(專利權)人：柿子技術公司，
類型：發明
國別省市：
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