【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來(lái)華專利技術(shù)】
示例和非限制性實(shí)施例總體上涉及機(jī)器人，并且更具體地涉及具有多個(gè)末端執(zhí)行器的橫穿機(jī)器人，其可以用于真空環(huán)境系統(tǒng)的材料處理和其他應(yīng)用。
技術(shù)介紹
1、現(xiàn)代半導(dǎo)體制造工廠尋求具有以下特性的晶片加工系統(tǒng)：緊湊的占地面積(工廠占地面積的單位面積成本)、同時(shí)處理多個(gè)晶片的能力(生產(chǎn)率，例如每單位時(shí)間處理的晶片數(shù)目)、以及支持靈活晶片流的能力(多種配方、操作過(guò)程中工藝模塊的維護(hù))。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、以下概述僅作為示例。本概述并非旨在限制權(quán)利要求的范圍。
2、根據(jù)一個(gè)方面，一種裝置包括：被配置為沿著運(yùn)動(dòng)路徑橫穿固定基座的平臺(tái)；聯(lián)接到平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)器；以及可移動(dòng)臂組件。可移動(dòng)臂組件包括連接到驅(qū)動(dòng)器的樞轉(zhuǎn)基座、連接到樞轉(zhuǎn)基座的第一連桿機(jī)構(gòu)和連接到樞轉(zhuǎn)基座的第二連桿機(jī)構(gòu)。第一連桿機(jī)構(gòu)包括通過(guò)第一旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第一上連桿和通過(guò)第二旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第一下連桿，第一上連桿包括具有至少第一基板保持區(qū)域的第一末端執(zhí)行器，第一下連桿包括具有至少第二基板保持區(qū)域的第二末端執(zhí)行器，其中第一旋轉(zhuǎn)接頭與第二旋轉(zhuǎn)接頭基本同軸。第二連桿機(jī)構(gòu)包括通過(guò)第三旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第二上連桿和通過(guò)第四旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第二下連桿，第二上連桿包括具有至少第三基板保持區(qū)域的第三末端執(zhí)行器，第二下連桿包括具有至少第四基板保持區(qū)域的第四末端執(zhí)行器，其中第三旋轉(zhuǎn)接頭與第四旋轉(zhuǎn)接頭基本同軸。平臺(tái)被配置為在兩個(gè)相反方向上沿著運(yùn)動(dòng)路徑橫穿固定基座，并且驅(qū)動(dòng)器和可移動(dòng)臂組件被配置為引起基板從第一基板保持區(qū)域、第二基板
3、根據(jù)另一方面，一種方法包括：提供平臺(tái)，該平臺(tái)被配置為沿著運(yùn)動(dòng)路徑橫穿固定基座；提供聯(lián)接到平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)器；以及將可移動(dòng)臂組件的樞轉(zhuǎn)基座連接到驅(qū)動(dòng)器。可移動(dòng)臂組件的第一連桿機(jī)構(gòu)被連接到樞轉(zhuǎn)基座，并且包括通過(guò)第一旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第一上連桿和通過(guò)第二旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第一下連桿，第一上連桿包括具有至少第一基板保持區(qū)域的第一末端執(zhí)行器，第一下連桿包括具有至少第二基板保持區(qū)域的第二末端執(zhí)行器，其中第一旋轉(zhuǎn)接頭與第二旋轉(zhuǎn)接頭基本同軸。可移動(dòng)臂組件的第二連桿機(jī)構(gòu)被連接到樞轉(zhuǎn)基座，并且包括通過(guò)第三旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第二上連桿和通過(guò)第四旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第二下連桿，第二上連桿包括具有至少第三基板保持區(qū)域的第三末端執(zhí)行器，第二下連桿包括具有至少第四基板保持區(qū)域的第四末端執(zhí)行器，其中第三旋轉(zhuǎn)接頭與第四旋轉(zhuǎn)接頭基本同軸。平臺(tái)被配置為在兩個(gè)相反方向上沿著運(yùn)動(dòng)路徑橫穿固定基座，并且驅(qū)動(dòng)器和可移動(dòng)臂組件被配置為引起基板從第一基板保持區(qū)域、第二基板保持區(qū)域、第三基板保持區(qū)域或第四基板保持區(qū)域中的至少一者到相應(yīng)基板工作站中的獨(dú)立且同時(shí)的移動(dòng)和轉(zhuǎn)移。
4、根據(jù)另一方面，一種方法包括：將第一基板放置在第一末端執(zhí)行器的第一基板保持區(qū)域上，并且將第二基板放置在第二末端執(zhí)行器的第二基板保持區(qū)域上，其中第一末端執(zhí)行器和第二末端執(zhí)行器形成包括連接到驅(qū)動(dòng)器的樞轉(zhuǎn)基座的可移動(dòng)臂組件的一部分，其中可移動(dòng)臂組件還包括：連接到驅(qū)動(dòng)器的樞轉(zhuǎn)基座、連接到樞轉(zhuǎn)基座的第一連桿機(jī)構(gòu)和連接到樞轉(zhuǎn)基座的第二連桿機(jī)構(gòu)。第一連桿機(jī)構(gòu)包括通過(guò)第一旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第一上連桿和通過(guò)第二旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第一下連桿，第一上連桿包括具有至少第一基板保持區(qū)域的第一末端執(zhí)行器，第一下連桿包括具有至少第二基板保持區(qū)域的第二末端執(zhí)行器，其中第一旋轉(zhuǎn)接頭與第二旋轉(zhuǎn)接頭基本同軸。第二連桿機(jī)構(gòu)包括通過(guò)第三旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第二上連桿和通過(guò)第四旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第二下連桿，第二上連桿包括具有至少第三基板保持區(qū)域的第三末端執(zhí)行器，第二下連桿包括具有至少第四基板保持區(qū)域的第四末端執(zhí)行器，其中第三旋轉(zhuǎn)接頭與第四旋轉(zhuǎn)接頭基本同軸。該方法還包括在兩個(gè)相反方向上沿著運(yùn)動(dòng)路徑在固定基座上移動(dòng)平臺(tái)，并且移動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和可移動(dòng)臂組件以引起基板從第一基板保持區(qū)域、第二基板保持區(qū)域、第三基板保持區(qū)域或第四基板保持區(qū)域中的至少一者到相應(yīng)基板工作站中的獨(dú)立且同時(shí)的移動(dòng)和轉(zhuǎn)移或從相應(yīng)基板工作站的獨(dú)立且同時(shí)的移動(dòng)和轉(zhuǎn)移。
5、根據(jù)另一方面，一種由機(jī)器可讀的非暫態(tài)程序存儲(chǔ)設(shè)備有形地體現(xiàn)由機(jī)器可執(zhí)行的指令程序，該指令程序包括以下操作：將第一基板放置在第一末端執(zhí)行器的第一基板保持區(qū)域上，將第二基板放置在第二末端執(zhí)行器的第二基板保持區(qū)域上，將第三基板放置在第三末端執(zhí)行器的第三基板保持區(qū)域上并且將第四基板放置在第四末端執(zhí)行器的第四基板保持區(qū)域上，其中第一末端執(zhí)行器、第二末端執(zhí)行器、第三末端執(zhí)行器和第四末端執(zhí)行器形成包括連接到驅(qū)動(dòng)器的樞轉(zhuǎn)基座的可移動(dòng)臂組件的一部分，其中可移動(dòng)臂組件還包括連接到驅(qū)動(dòng)器的樞轉(zhuǎn)基座、連接到樞轉(zhuǎn)基座的第一連桿機(jī)構(gòu)和連接到樞轉(zhuǎn)基座的第二連桿機(jī)構(gòu)，第一連桿機(jī)構(gòu)包括通過(guò)第一旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第一上連桿和通過(guò)第二旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第一下連桿，第一上連桿包括具有至少第一基板保持區(qū)域的第一末端執(zhí)行器，第一下連桿包括具有至少第二基板保持區(qū)域的第二末端執(zhí)行器，其中第一旋轉(zhuǎn)接頭與第二旋轉(zhuǎn)接頭基本同軸，第二連桿機(jī)構(gòu)包括通過(guò)第三旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第二上連桿和通過(guò)第四旋轉(zhuǎn)接頭聯(lián)接到樞轉(zhuǎn)基座的第二下連桿，第二上連桿包括具有至少第三基板保持區(qū)域的第三末端執(zhí)行器，第二下連桿包括具有至少第四基板保持區(qū)域的第四末端執(zhí)行器，其中第三旋轉(zhuǎn)接頭與第四旋轉(zhuǎn)接頭基本同軸。該操作還包括控制平臺(tái)在兩個(gè)相反方向上沿著運(yùn)動(dòng)路徑在固定基座上的移動(dòng)，并且移動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和可移動(dòng)臂組件以引起基板從第一基板保持區(qū)域、第二基板保持區(qū)域、第三基板保持區(qū)域或第四基板保持區(qū)域中的至少一者到相應(yīng)基板工作站中的獨(dú)立且同時(shí)的移動(dòng)和轉(zhuǎn)移。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種裝置，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述樞轉(zhuǎn)基座被配置為能夠在基本上在所述樞轉(zhuǎn)基座的幾何中心處的點(diǎn)處圍繞所述驅(qū)動(dòng)器旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述第一上連桿被配置為能夠通過(guò)所述第一旋轉(zhuǎn)接頭在所述樞轉(zhuǎn)基座上旋轉(zhuǎn)，并且所述第一下連桿被配置為能夠通過(guò)所述第二旋轉(zhuǎn)接頭在所述樞轉(zhuǎn)基座上旋轉(zhuǎn)，使得所述第一末端執(zhí)行器的位置和所述第二末端執(zhí)行器的位置相對(duì)于所述樞轉(zhuǎn)基座反轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中所述第二上連桿被配置為能夠通過(guò)所述第三旋轉(zhuǎn)接頭在所述樞轉(zhuǎn)基座上旋轉(zhuǎn)，并且所述第二下連桿被配置為能夠通過(guò)所述第四旋轉(zhuǎn)接頭在所述樞轉(zhuǎn)基座上旋轉(zhuǎn)，使得所述第三末端執(zhí)行器的位置和所述第四末端執(zhí)行器的位置相對(duì)于所述樞轉(zhuǎn)基座反轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述樞轉(zhuǎn)基座被配置為能夠與所述第一末端執(zhí)行器、所述第二末端執(zhí)行器、所述第三末端執(zhí)行器或所述第四末端執(zhí)行器中的至少一者到所述相應(yīng)基板工作站的延伸同時(shí)地旋轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中所述樞轉(zhuǎn)基座被配置為能夠與所述第一末端執(zhí)行器到所述相應(yīng)基板工
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其中聯(lián)接到所述樞轉(zhuǎn)基座的所述第二上臂與所述第一上臂同軸，并且其中聯(lián)接到所述樞轉(zhuǎn)基座的所述第四上臂與所述第三上臂同軸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中所述第一末端執(zhí)行器、所述第二末端執(zhí)行器、所述第三末端執(zhí)行器或所述第四末端執(zhí)行器中的至少一者是成角度的。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述第一上連桿、所述第一下連桿、所述第二上連桿或所述第二下連桿中的至少一者的至少一個(gè)移動(dòng)被配置為補(bǔ)償所述基板到所述相應(yīng)基板工作站中的所述移動(dòng)和轉(zhuǎn)移的未對(duì)準(zhǔn)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述驅(qū)動(dòng)器和所述可移動(dòng)臂組件被配置為引起基板從在所述運(yùn)動(dòng)路徑的第一側(cè)上的第一基板工作站到在所述運(yùn)動(dòng)路徑的第二側(cè)上的第二基板工作站的移動(dòng)和轉(zhuǎn)移。
12.一種方法，包括：
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中所述樞轉(zhuǎn)基座被配置為能夠在基本上在所述樞轉(zhuǎn)基座的幾何中心處的點(diǎn)處圍繞所述驅(qū)動(dòng)器旋轉(zhuǎn)。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中所述第一上連桿被配置為能夠通過(guò)所述第一旋轉(zhuǎn)接頭在所述樞轉(zhuǎn)基座上旋轉(zhuǎn)，并且所述第一下連桿被配置為能夠通過(guò)所述第二旋轉(zhuǎn)接頭在所述樞轉(zhuǎn)基座上旋轉(zhuǎn)，使得所述第一末端執(zhí)行器的位置和所述第二末端執(zhí)行器的位置相對(duì)于所述樞轉(zhuǎn)基座反轉(zhuǎn)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中所述第二上連桿被配置為能夠通過(guò)所述第三旋轉(zhuǎn)接頭在所述樞轉(zhuǎn)基座上旋轉(zhuǎn)，并且所述第二下連桿被配置為能夠通過(guò)所述第四旋轉(zhuǎn)接頭在所述樞轉(zhuǎn)基座上旋轉(zhuǎn)，使得所述第三末端執(zhí)行器的位置和所述第四末端執(zhí)行器的位置相對(duì)于所述樞轉(zhuǎn)基座反轉(zhuǎn)。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中所述樞轉(zhuǎn)基座被配置為能夠與所述第一末端執(zhí)行器、所述第二末端執(zhí)行器、所述第三末端執(zhí)行器或所述第四末端執(zhí)行器中的至少一者到所述相應(yīng)基板工作站的延伸同時(shí)地旋轉(zhuǎn)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述樞轉(zhuǎn)基座被配置為能夠與所述第一末端執(zhí)行器到所述相應(yīng)基板工作站中的第一基板工作站和所述第二末端執(zhí)行器到所述相應(yīng)基板工作站中的第二基板工作站的同時(shí)延伸同時(shí)地旋轉(zhuǎn)。
18.一種方法，包括：
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中移動(dòng)所述平臺(tái)以及移動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)器和所述可移動(dòng)臂組件包括與所述第一末端執(zhí)行器、所述第二末端執(zhí)行器、所述第三末端執(zhí)行器或所述第四末端執(zhí)行器中的至少一者到所述相應(yīng)基板工作站的延伸同時(shí)地旋轉(zhuǎn)所述樞轉(zhuǎn)基座。
20.一種由機(jī)器可讀的非暫態(tài)程序存儲(chǔ)設(shè)備，有形地體現(xiàn)指令程序，所述指令程序能夠由所述機(jī)器執(zhí)行以執(zhí)行操作，所述操作包括：
...【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來(lái)華專利技術(shù)】
1.一種裝置，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述樞轉(zhuǎn)基座被配置為能夠在基本上在所述樞轉(zhuǎn)基座的幾何中心處的點(diǎn)處圍繞所述驅(qū)動(dòng)器旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述第一上連桿被配置為能夠通過(guò)所述第一旋轉(zhuǎn)接頭在所述樞轉(zhuǎn)基座上旋轉(zhuǎn)，并且所述第一下連桿被配置為能夠通過(guò)所述第二旋轉(zhuǎn)接頭在所述樞轉(zhuǎn)基座上旋轉(zhuǎn)，使得所述第一末端執(zhí)行器的位置和所述第二末端執(zhí)行器的位置相對(duì)于所述樞轉(zhuǎn)基座反轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中所述第二上連桿被配置為能夠通過(guò)所述第三旋轉(zhuǎn)接頭在所述樞轉(zhuǎn)基座上旋轉(zhuǎn)，并且所述第二下連桿被配置為能夠通過(guò)所述第四旋轉(zhuǎn)接頭在所述樞轉(zhuǎn)基座上旋轉(zhuǎn)，使得所述第三末端執(zhí)行器的位置和所述第四末端執(zhí)行器的位置相對(duì)于所述樞轉(zhuǎn)基座反轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述樞轉(zhuǎn)基座被配置為能夠與所述第一末端執(zhí)行器、所述第二末端執(zhí)行器、所述第三末端執(zhí)行器或所述第四末端執(zhí)行器中的至少一者到所述相應(yīng)基板工作站的延伸同時(shí)地旋轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中所述樞轉(zhuǎn)基座被配置為能夠與所述第一末端執(zhí)行器到所述相應(yīng)基板工作站中的第一基板工作站和所述第二末端執(zhí)行器到所述相應(yīng)基板工作站中的第二基板工作站的同時(shí)延伸同時(shí)地旋轉(zhuǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其中聯(lián)接到所述樞轉(zhuǎn)基座的所述第二上臂與所述第一上臂同軸，并且其中聯(lián)接到所述樞轉(zhuǎn)基座的所述第四上臂與所述第三上臂同軸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中所述第一末端執(zhí)行器、所述第二末端執(zhí)行器、所述第三末端執(zhí)行器或所述第四末端執(zhí)行器中的至少一者是成角度的。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述第一上連桿、所述第一下連桿、所述第二上連桿或所述第二下連桿中的至少一者的至少一個(gè)移動(dòng)被配置為補(bǔ)償所述基板到所述相應(yīng)基板工作站中的所述移動(dòng)和轉(zhuǎn)移的未對(duì)準(zhǔn)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：M·霍塞克，S·威爾卡斯，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：柿子技術(shù)公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
還沒(méi)有人留言評(píng)論。發(fā)表了對(duì)其他瀏覽者有用的留言會(huì)獲得科技券。