真空吸附單元和真空吸附載臺制造技術

本發明專利技術公開了一種真空吸附單元和真空吸附載臺，真空吸附單元包括：內部限定出氣路通孔的外殼，氣路通孔內設有上止抵面和下止抵面；可移動地設在氣路通孔內的活塞，活塞的外周壁與氣路通孔的內周壁滑動配合；兩端分別止抵在外殼和活塞上的彈性件；與氣路通孔連通的泄壓通道，泄壓通道被構造成僅在活塞移動至止抵在下止抵面時泄壓通道被關閉。本發明專利技術的真空吸附單元，可根據氣路通孔的用于吸附的一端是否被覆蓋而在活塞上下兩側產生的不同的氣壓差來控制真空吸附單元的吸附狀態，實現了真空吸附單元工作的自動化，實現了自動關閉未被覆蓋的氣路通孔的用于吸附的一端的目的。

Vacuum adsorption unit and vacuum loading station

The invention discloses a vacuum unit and the vacuum loading station, vacuum adsorption unit includes: internal limiting hole road outlet casing, gas path through hole is arranged in the top face and the bottom dead face; movable piston hole is arranged in the gas path, the inner circumferential wall of the sliding piston the peripheral wall and gas path through holes with both ends respectively; check against the shell and the elastic piece on the piston; and the gas pressure relief hole communicated with the passage of the pressure relief passage is constructed pressure relief channel is closed only in the movement of the piston to check against the bottom surface when stopping. Vacuum adsorption unit of the invention, according to the gas path through holes for adsorption at one end of the cover and whether both sides in the piston on the different pressure to control the adsorption state of vacuum adsorption unit, automatic vacuum adsorption unit, realizes the automatic closing gas path uncovered through hole the end purpose for adsorption.

【技術實現步驟摘要】
真空吸附單元和真空吸附載臺
本專利技術涉及真空吸附領域，尤其涉及一種真空吸附單元和真空吸附載臺。
技術介紹
近年來相關技術的真空吸附載臺吸附的基板尺寸趨于多樣化，為了應對不同尺寸的基板，通常情況下采用粘貼膠帶的方式來關閉基板載臺上暫時不用的真空吸槽，從而給關閉真空吸槽的操作帶來不便并且浪費人力。
技術實現思路
本專利技術旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本專利技術提出一種真空吸附單元，可根據氣路通孔的用于吸附的一端是否被覆蓋而在活塞上下兩側產生的不同的氣壓差來控制真空吸附單元的吸附狀態，實現了真空吸附單元工作的自動化，實現了自動關閉未被覆蓋的氣路通孔的用于吸附的一端的目的。本專利技術還提出一種真空吸附載臺，包括上述的真空吸附單元。根據本專利技術實施例的真空吸附單元，可應用于真空吸附載臺，已知真空吸附載臺包括基板載臺，基板載臺上設有真空吸槽。真空吸附單元包括：外殼，所述外殼內限定出氣路通孔，所述氣路通孔內設有上止抵面和下止抵面；活塞，所述活塞可移動地設在所述氣路通孔內且位于所述上止抵面和所述下止抵面之間，所述活塞的外周壁與所述氣路通孔的內周壁滑動配合；彈性件，所述彈性件的兩端分別止抵在所述外殼和所述活塞上以常驅動所述活塞止抵在所述上止抵面上；與所述氣路通孔連通的泄壓通道，所述泄壓通道被構造成在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述泄壓通道被關閉。可以理解的是，氣路通孔的兩端分別與真空吸槽和真空管路相連通以實現真空吸附單元的吸附工作。根據本專利技術實施例的真空吸附單元，通過在氣路通孔內設置可移動的活塞，并且設置與氣路通孔連通的泄壓通道，泄壓通道被構造成在活塞移動至止抵在下止抵面時泄壓通道被關閉，從而可根據真空吸槽是否被覆蓋而在活塞上下兩側產生的不同的氣壓差來控制真空吸附單元的吸附狀態，實現了真空吸附單元工作的自動化，實現了自動關閉基板載臺上的未被覆蓋的真空吸槽的目的。可選地，所述泄壓通道設在所述活塞上，在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述下止抵面封堵所述泄壓通道。從而使泄壓通道的結構簡單，能夠降低真空吸附單元的制造成本。可選地，所述泄壓通道設在所述外殼內，所述泄壓通道的上端位于所述上止抵面的上方，所述泄壓通道的下端位于所述下止抵面的上方，在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述活塞的側壁封堵所述泄壓通道的下端以關閉泄壓通道。從而使泄壓通道的結構更加穩定，泄壓作用更加可靠。根據本專利技術的一些地實施例，所述外殼包括：筒體，所述筒體內限定出所述氣路通孔；止擋件，所述止擋件設在所述氣路通孔的內壁上，所述止擋件內設有與所述氣路通孔連通的貫通孔，所述止擋件的上表面限定出所述下止抵面；墊片，所述墊片設在所述止擋件的下表面上，所述彈性件設在所述活塞的下方且所述彈性件的下端穿過所述貫通孔止抵在所述墊片上。從而使真空吸附單元的結構簡單、可靠。根據本專利技術的又一些實施例，所述外殼包括：筒體，所述筒體內限定出所述氣路通孔；止擋件，所述止擋件設在所述氣路通孔的內壁上，所述止擋件內設有與所述氣路通孔連通的貫通孔，所述止擋件的上表面限定出所述下止抵面；墊片，所述墊片設在所述筒體的內壁上且位于所述止擋件的上方，所述彈性件位于所述活塞的上方且所述彈性件的上下兩端分別與所述墊片和所述活塞相連。具體地，所述筒體包括：中空的外套筒；中空的內套筒，所述內套筒設在所述外套筒內且位于所述止擋件的上方，所述內套筒的外周壁和所述外套筒的內周壁之間限定出所述泄壓通道，所述活塞可移動地設在所述內套筒內。由此可知，泄壓通道的設置簡單，內套筒的頂端的下表面限定出上止抵面。具體地，所述內套筒的內頂壁限定出所述上止抵面。進一步地，所述外殼的上端設有外螺紋。從而便于將真空吸附單元安裝到基板載臺上，使真空吸附單元與基板載臺的連接方式簡單，便于拆卸和更換。進一步地，所述氣路通孔的下端的內周壁設有內螺紋。從而便于將真空吸附單元與真空管路連接，使真空吸附單元與真空管路的連接方式簡單，便于拆卸和更換。可選地，所述彈性件為彈簧。從而在保證彈性件對活塞的推動作用的同時使真空吸附單元的成本低。可選地，所述泄壓通道的橫截面積保持不變。從而能夠保證泄壓通道內不同位置的氣體流量相同，進而保證泄壓通道的泄壓作用，同時使泄壓通道的結構簡單、制造方便。根據本專利技術實施例的真空吸附載臺，包括：基板載臺，所述基板載臺上設有真空吸槽；真空吸附單元，所述真空吸附單元為根據本專利技術上述實施例的真空吸附單元，所述真空吸附單元與所述真空吸槽一一對應配合連接。根據本專利技術實施例的真空吸附載臺，通過設置根據本專利技術上述實施例的真空吸附單元，從而可根據每個真空吸槽是否被覆蓋而在活塞上下兩側產生的不同的氣壓差來控制每個對應的真空吸附單元的吸附狀態，實現了真空吸附載臺工作的自動化。進一步地，所述真空吸槽為多個，所述真空吸附單元為多個且與多個所述真空吸槽一一對應配合連接。本專利技術的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本專利技術的實踐了解到。附圖說明圖1是根據本專利技術實施例的基板載臺的俯視圖；圖2是根據本專利技術實施例的基板載臺的仰視圖；圖3是根據本專利技術實施例的真空吸附單元的示意圖；圖4是根據本專利技術實施例的真空吸附單元工作時活塞移動示意圖；圖5是根據本專利技術實施例的真空吸附單元工作時活塞止抵在下止抵面的示意圖；圖6是根據本專利技術又一實施例的真空吸附單元的示意圖；圖7是根據本專利技術再一實施例的真空吸附單元的示意圖。附圖標記：真空吸附單元100；基板載臺200；外殼1；筒體11；外套筒110；內套筒111；止擋件12；墊片13；上止抵面14；下止抵面15；活塞2；彈性件3；泄壓通道4；真空吸槽21；氣路通孔a；貫通孔b。具體實施方式下面詳細描述本專利技術的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本專利技術，而不能理解為對本專利技術的限制。在本專利技術的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”、“豎直”、“水平”、“頂”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本專利技術和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本專利技術的限制。在本專利技術的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。在本專利技術的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本專利技術中的具體含義。下面參考圖1-圖7描述根據本專利技術實施例的真空吸附單元100，本專利技術實施例的真空吸附單元100可應用于真空吸附載臺，已知真空吸附載臺包括基板載臺200，基板載臺200上設有真空吸槽21。如圖1-圖7所示，根據本專利技術實施例的真空吸附單元100，包括：外殼1、活塞2、彈性件3和與氣路通孔a連通的泄壓通道4。具體而言，外殼1內限定出氣路通孔a，氣路通孔a內設有上止抵面14和下止抵面15。從而可以理解的是，氣路通本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種真空吸附單元，其特征在于，包括：外殼，所述外殼內限定出氣路通孔，所述氣路通孔內設有上止抵面和下止抵面；活塞，所述活塞可移動地設在所述氣路通孔內且位于所述上止抵面和所述下止抵面之間，所述活塞的外周壁與所述氣路通孔的內周壁滑動配合；彈性件，所述彈性件的兩端分別止抵在所述外殼和所述活塞上以常驅動所述活塞止抵在所述上止抵面上；與所述氣路通孔連通的泄壓通道，所述泄壓通道被構造成僅在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述泄壓通道被關閉。

【技術特征摘要】
1.一種真空吸附單元，其特征在于，包括：外殼，所述外殼內限定出氣路通孔，所述氣路通孔內設有上止抵面和下止抵面；活塞，所述活塞可移動地設在所述氣路通孔內且位于所述上止抵面和所述下止抵面之間，所述活塞的外周壁與所述氣路通孔的內周壁滑動配合；彈性件，所述彈性件的兩端分別止抵在所述外殼和所述活塞上以常驅動所述活塞止抵在所述上止抵面上；與所述氣路通孔連通的泄壓通道，所述泄壓通道被構造成僅在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述泄壓通道被關閉。2.根據權利要求1所述的真空吸附單元，其特征在于，所述泄壓通道設在所述活塞上，在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述下止抵面封堵所述泄壓通道。3.根據權利要求1所述的真空吸附單元，其特征在于，所述泄壓通道設在所述外殼內，所述泄壓通道的上端位于所述上止抵面的上方，所述泄壓通道的下端位于所述下止抵面的上方，在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述活塞的側壁封堵所述泄壓通道的下端以關閉泄壓通道。4.根據權利要求1所述的真空吸附單元，其特征在于，所述外殼包括：筒體，所述筒體內限定出所述氣路通孔；止擋件，所述止擋件設在所述氣路通孔的內壁上，所述止擋件內設有與所述氣路通孔連通的貫通孔，所述止擋件的上表面限定出所述下止抵面；墊片，所述墊片設在所述止擋件的下表面上，所述彈性件設在所述活塞的下方且所述彈性件的下端穿過所述貫通孔止抵在所述墊片上。5.根據權利要求1所述的真空吸附單元，其特征在于，所述外殼包括：筒體，所述筒體內限定出...

【專利技術屬性】
技術研發人員：鄭漢博，李麗，閆俊偉，馮長海，
申請(專利權)人：京東方科技集團股份有限公司，
類型：發明
國別省市：北京,11