真空管道制造技術

本發明專利技術涉及真空設備技術領域，特別涉及一種真空管道，包括第一管體、第二管體以及波紋管，所述的波紋管設置有兩個以上，氣體經過第一管體分流至兩個以上的波紋管中，流過波紋管的氣體再經過第二管體匯流至一起，第一管體和第二管體為剛性材料制成，真空管道的進、出氣口同心布置，波紋管的管長方向垂直于進氣口的軸心方向且兩個以上的波紋管關于該軸心對稱布置。由于波紋管關于進氣口的軸心對稱布置且與軸心垂直，這樣各波紋管的拉伸和壓縮變形被互相抵消，而第一、二管體是剛性的，這樣抽氣時真空泵和真空腔體之間就不會發生位移；同時，由于這里設置了波紋管，這樣真空泵的振動也不會傳遞給真空腔體，起到很好的隔振效果。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及真空設備
，特別涉及一種真空管道。
技術介紹
隨著科學技術的不斷發展，大型真空系統在各行業的應用越來越多，例如各種粒子加速器的研制、核物理基礎與應用研究、航空航天環境模擬器、半導體工業、醫藥衛生、環境保護、新材料研究等方面均需要真空環境。常用的真空系統包括真空腔體、真空管道和真空泵，其中真空泵主要用于抽取真空腔體內的氣體，真空管道主要用于連接真空腔體和真空泵。目前，真空管道主要有兩種結構：一種為直管，如北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司于2013年4月8日申請的專利技術專利《真空抽氣裝置和刻蝕設備》(申請號：201310118631.9；公開號：104103550A)中公開了一種抽氣裝置，包括真空抽氣腔、分子泵和用于連通真空抽氣腔和分子泵的過渡通道，其中過渡通道為筒狀結構，這里所說的過渡通道就屬于直管類的真空管道。直管具有一定的剛性，其依靠自身的剛性能夠避免真空泵或者真空腔體被拖動，但同時剛性的直管也會將真空泵的振動傳遞給真空腔體。還有一種為波紋管，波紋管具有的柔性可以有效的隔離真空泵的振動，但是由于在抽真空的過程中，真空管道在軸線方向上要承受很大壓力，大概有1kg/cm2，這樣就會導致波紋管會在抽真空時的軸向壓力作用下產生軸向形變，如果沒有采用必要措施，必將帶動真空泵或真空腔體發生位移。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種真空管道，有效隔振的同時避免真空泵或真空腔體被拖動。<br>為實現以上目的，本專利技術采用的技術方案為：一種真空管道，包括第一管體、第二管體以及波紋管，所述的波紋管設置有兩個以上，氣體經過第一管體分流至兩個以上的波紋管中，流過波紋管的氣體再經過第二管體匯流至一起，第一管體和第二管體為剛性材料制成，真空管道的進、出氣口同心布置，波紋管的管長方向垂直于進氣口的軸心方向且兩個以上的波紋管關于該軸心對稱布置。進一步地，所述的波紋管有設置有兩個，兩個波紋管的軸心重合，兩個波紋管朝向彼此的一端通過第一管體連接在一起，兩個波紋管的另一端通過第二管體連接在一起。進一步地，所述的波紋管有設置有三個，三個波紋管的軸心位于同一平面內且相互夾角為120度，三個波紋管位于內側的一端通過第一管體連接在一起，三個波紋管的另一端通過第二管體連接在一起。進一步地，所述的波紋管有設置有N個，N為大于等于4的整數，N個波紋管的軸心位于同一平面內且相互夾角為360/N度，N個波紋管位于內側的一端通過第一管體連接在一起，N個波紋管的另一端通過第二管體連接在一起。進一步地，所述的第一管體包括第一直管和第二直管，第二直管垂直連接在第一直管的中部，第一直管的兩端分別與兩個波紋管相連；所述的第二管體包括第三直管、第四直管以及兩個L型管，第四直管垂直連接在第三直管的中部，L型管的一端與波紋管相連、另一端垂直焊接在第三直管上；第一直管和第三直管的軸心平行，第二直管和第四直管的軸心重合。進一步地，所述第三直管的兩端設置有封頭，第一直管和波紋管之間、波紋管和L型管之間、第三直管和封頭之間均通過法蘭接頭固定連接，第二直管焊接在第一直管上，第四直管和L型管焊接在第三直管上。進一步地，所述的第一管體包括第一Y型管和第二直管，第一Y型管包括三條相同的分支管道，三條分支管道的軸心位于同一平面內且相互夾角為120°，第二直管垂直連接在第一Y型管的中心，第一Y型管的三個端頭分別與三個波紋管相連；所述的第二管體包括第二Y型管、第四直管以及三個L型管，第二Y型管包括三條相同的分支管道，三條分支管道的軸心位于同一平面內且相互夾角為120°，第四直管垂直連接在第二Y型管的中心，L型管的一端與波紋管相連、另一端垂直焊接在第二Y型管的分支管道上；第一Y型管的三條分支管道軸心所在的面與第二Y型管的三條分支管道軸心所在的面平行，第二直管和第四直管的軸心重合。進一步地，所述第二Y型管的三個端頭均設置有封頭，第一Y型管和波紋管之間、波紋管和L型管之間、第二Y型管和封頭之間均通過法蘭接頭固定連接，第二直管焊接在第一Y型管上，第四直管和L型管焊接在第二Y型管上。進一步地，所述的波紋管為焊接波紋管，焊接波紋管包括圓環狀的不銹鋼薄片，各不銹鋼薄片的內徑和外徑交替焊接形成薄壁褶皺軟管，其焊接方式為等離子焊；不銹鋼薄片的材料為SUS316鋼，第一管體和第二管體的材料為304鋼。與現有技術相比，本專利技術存在以下技術效果：由于波紋管關于進氣口的軸心對稱布置且與軸心垂直，這樣各波紋管的拉伸和壓縮變形被互相抵消，而第一、二管體是剛性的，這樣抽氣時真空泵和真空腔體之間就不會發生位移；同時，由于這里設置了波紋管，這樣真空泵的振動也不會傳遞給真空腔體，起到很好的隔振效果。附圖說明圖1是本專利技術實施例一的立體結構示意圖；圖2是圖1的正視圖；圖3是本專利技術實施例二的立體結構示意圖；圖4是圖3的俯視圖。具體實施方式下面結合圖1至圖4，對本專利技術做進一步詳細敘述。參閱圖1-圖4，一種真空管道，包括第一管體10、第二管體20以及波紋管30，所述的波紋管30設置有兩個以上，氣體經過第一管體10分流至波紋管30中，流過波紋管30的氣體再經過第二管體20匯流至一起，第一管體10和第二管體20為剛性材料制成，真空管道的進、出氣口同心布置，波紋管30的管長方向垂直于進氣口的軸心方向且兩個以上的波紋管30關于該軸心對稱布置。本專利技術中，由于采用了剛性材料制成的第一管體10和第二管體20，在抽真空時的軸向壓力作用下不會發生軸向形變，保證了第一管體10和第二管體20之間沿進氣口軸心方向的位置不變。另外，關于流體對波紋管30影響的研究尚在初步階段，初步研究結果表明，受流體影響的波紋管30受力復雜，導致波紋管3具有不同區域周期性的拉伸和壓縮，波紋管30中的應力應變的分布也呈周期性變化，但是在本專利技術的方案中，由于兩個以上的波紋管30具有對稱性，在流體相同的情況下，可以很好的解決波紋管30復雜的受力問題，波紋管30的拉伸和壓縮變形會被抵消。因此，本專利技術中的真空管道在各個方向上的受力都比較均衡，整體結構非常穩定，不會出現真空泵或真空腔體的位移。再者，由于設置了波紋管30，使得真空泵的振動不會傳遞給真空腔體，起到了很好的隔振效果。這里的第一管體10作為分流管與真空腔體相連，第二管體20作為匯流管與真空泵或真空機組相連。在實際應用時，也可以選擇第一管體10與真空泵或真空機組相連，第二管體20與真空腔體相連，在這種連接方式下，氣體是經過第二管體20分流至波紋管30中，再通過第一管體本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種真空管道，其特征在于：包括第一管體(10)、第二管體(20)以及波紋管(30)，所述的波紋管(30)設置有兩個以上，氣體經過第一管體(10)分流至波紋管(30)中，流過波紋管(30)的氣體再經過第二管體(20)匯流至一起，第一管體(10)和第二管體(20)為剛性材料制成，真空管道的進、出氣口同心布置，波紋管(30)的管長方向垂直于進氣口的軸心方向且兩個以上的波紋管(30)關于該軸心對稱布置。

【技術特征摘要】
1.一種真空管道，其特征在于：包括第一管體(10)、第二管體(20)以及波紋管
(30)，所述的波紋管(30)設置有兩個以上，氣體經過第一管體(10)分流至波紋管(30)
中，流過波紋管(30)的氣體再經過第二管體(20)匯流至一起，第一管體(10)和第二管
體(20)為剛性材料制成，真空管道的進、出氣口同心布置，波紋管(30)的管長方向垂直
于進氣口的軸心方向且兩個以上的波紋管(30)關于該軸心對稱布置。
2.如權利要求1所述的真空管道，其特征在于：所述的波紋管(30)有設置有兩個，
兩個波紋管(30)的軸心重合，兩個波紋管(30)朝向彼此的一端通過第一管體(10)連接
在一起，兩個波紋管(30)的另一端通過第二管體(20)連接在一起。
3.如權利要求1所述的真空管道，其特征在于：所述的波紋管(30)有設置有三個，
三個波紋管(30)的軸心位于同一平面內且相互夾角為120度，三個波紋管(30)位于內側
的一端通過第一管體(10)連接在一起，三個波紋管(30)的另一端通過第二管體(20)連
接在一起。
4.如權利要求1所述的真空管道，其特征在于：所述的波紋管(30)有設置有N個，
N為大于等于4的整數，N個波紋管(30)的軸心位于同一平面內且相互夾角為360/N度，
N個波紋管(30)位于內側的一端通過第一管體(10)連接在一起，N個波紋管(30)的另
一端通過第二管體(20)連接在一起。
5.如權利要求2所述的真空管道，其特征在于：所述的第一管體(10)包括第一直管
(11)和第二直管(12)，第二直管(12)垂直連接在第一直管(11)的中部，第一直管(11)
的兩端分別與兩個波紋管(30)相連；所述的第二管體(20)包括第三直管(21)、第四直
管(22)以及兩個L型管(23)，第四直管(22)垂直連接在第三直管(21)的中部，L型
管(23)的一端與波紋管(30)相連、另一端垂直焊接在第三直管(21)上；第一直管(11)
和第三直管(21)的軸心平行，第二直管(12)和第四直管(22)的軸心重合。
6.如權利...

【專利技術屬性】
技術研發人員：何超峰，丁先庚，王輝，劉彥武，郁歡強，董相文，孫興中，戴建彪，張海峰，卞榮耀，李陽，陳耀鋒，張俊峰，武義鋒，章學華，
申請(專利權)人：安徽萬瑞冷電科技有限公司，哈爾濱工業大學，
類型：發明
國別省市：安徽;34