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本實用新型涉及直寫式光刻機設備技術領域，尤其涉及一種直寫式光刻機的電控裝置及直寫式光刻機。其中，直寫式光刻機的電控裝置包括上位機、通信控制器件、激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件和溫濕度監測器件；通信控制器件的一端與所述上位機電連接...
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