一種直寫式光刻機的電控裝置及直寫式光刻機制造方法及圖紙

本實用新型專利技術涉及直寫式光刻機設備技術領域，尤其涉及一種直寫式光刻機的電控裝置及直寫式光刻機。其中，直寫式光刻機的電控裝置包括上位機、通信控制器件、激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件和溫濕度監(jiān)測器件；通信控制器件的一端與所述上位機電連接，另一端分別與激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件以及溫濕度監(jiān)測器件的輸入端電連接；激光器控制器件的輸出端與激光器電連接；聚焦控制器件的輸出端與聚焦電機電連接；外圍控制器件的輸出端與外圍設備電連接。直寫式光刻機包括上述直寫式光刻機的電控裝置。本實用新型專利技術提供的直寫式光刻機的電控裝置及直寫式光刻機，擺脫了上位機直接控制下位機的情況，接口連接穩(wěn)定可靠。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及直寫式光刻機設備
，尤其涉及一種直寫式光刻機的電控裝置及直寫式光刻機。
技術介紹
在科技不斷發(fā)展的過程中，直寫式光刻機因具有高精度、高效率的優(yōu)點，已經逐步被投入到印制電路板的行業(yè)中。其中，針對直寫式光刻機的電控裝置是光刻機的一個通信樞紐，它負責整個光刻機的命令解析以及控制。目前，針對直寫式光刻機的電控裝置，一般都是上位機1A直接控制下位機(溫濕度監(jiān)測器件6A，2路激光器控制器件3A，2路聚焦控制器件4A以及真空等外圍控制器件5A)執(zhí)行命令，進而監(jiān)測直寫式光刻機所在環(huán)境的溫濕度，控制激光器10A、聚焦電機11A和外圍設備12A的運行。眾所周知，本身上位機1A的軟件與硬件直接對接(即接口連接)就很不方便；然而，上述這種上位機1A直接控制下位機的方式還是一個軟件與多個硬件進行對接(具體參見圖1和圖2)，因此，這種接口連接方式很難實現穩(wěn)定可靠的通信。因此，如何克服傳統(tǒng)技術中的上述缺陷是本領域技術人員亟待解決的技術問題。
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種直寫式光刻機的電控裝置及直寫式光刻機，以解決上述問題。為了達到上述目的，本技術的技術方案是這樣實現的：本技術提供了一種直寫式光刻機的電控裝置，包括通信控制器件、激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件和溫濕度監(jiān)測器件。所述通信控制器件的一端與上位機電連接，另一端分別與所述激光器控制器件、所述聚焦控制器件、所述外圍控制器件以及所述溫濕度監(jiān)測器件的輸入端電連接；所述激光器控制器件的輸出端與激光器電連接；所述聚焦控制器件的輸出端與聚焦電機電連接；所述外圍控制器件的輸出端與外圍設備電連接。優(yōu)選的，作為一種可實施方式，所述直寫式光刻機還包括電源控制器件；所述電源控制器件的輸入端與直寫式光刻機的整機電源電連接；所述電源控制器件的輸出端分別與所述激光器控制器件、所述聚焦控制器件、所述外圍控制器件和所述溫濕度監(jiān)測器件的電源接口電連接。優(yōu)選的，作為一種可實施方式，所述直寫式光刻機還包括溫度監(jiān)測器件(即實質為一種DMD溫度監(jiān)測器件)；所述溫度監(jiān)測器件的電源接口與所述電源控制器件的輸出端電連接；所述溫度監(jiān)測器件的輸入端與DMD核心控制芯片接觸，所述溫度監(jiān)測器件的輸出端與所述通信控制器件的輸入端電連接。優(yōu)選的，作為一種可實施方式，所述溫度監(jiān)測器件包括溫度監(jiān)測傳感器。優(yōu)選的，作為一種可實施方式，所述上位機與所述通信控制器件之間通過網口連接。優(yōu)選的，作為一種可實施方式，所述激光器控制器件包括FPGA。優(yōu)選的，作為一種可實施方式，所述激光器控制器件包括ARM處理器。優(yōu)選的，作為一種可實施方式，所述溫濕度監(jiān)測器件包括溫濕度傳感器。相應的，本技術還提供了一種直寫式光刻機，包括上述直寫式光刻機的電控裝置，還包括激光器、聚焦電機和外圍設備。優(yōu)選的，作為一種可實施方式，所述外圍設備包括自動門、塔燈和環(huán)境監(jiān)測器。與現有技術相比，本技術實施例的優(yōu)點在于：本技術提供的一種直寫式光刻機的電控裝置及直寫式光刻機，分析上述直寫式光刻機的電控裝置的主要結構可知：其主要由通信控制器件、激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件和溫濕度監(jiān)測器件組成。通信控制器件與上位機電連接；通信控制器件還分別與激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件以及溫濕度監(jiān)測器件的輸入端電連接；激光器控制器件的輸出端與激光器電連接；聚焦控制器件的輸出端與聚焦電機電連接；外圍控制器件的輸出端與外圍設備電連接。本技術提供的直寫式光刻機是采用上述直寫式光刻機的電控裝置作為控制機構，對其本身的激光器、聚焦電機、外圍設備以及整機所處的工作環(huán)境進行控制或監(jiān)測。很顯然，在上位機與下位機(具體為通信控制器件、激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件和溫濕度監(jiān)測器件)之間設置通信控制器件，來完成上位機對下位機的控制；如此，上位機上只需設置一個接口來與通信控制器件連接，由通信控制器件設置多個輸出口分別與激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件以及溫濕度監(jiān)測器件電連接；這樣，便避免了一個軟件需要與多個硬件對接的情況，進而使得上位機與下位機直接的連接更加穩(wěn)定可靠。其中，通信控制器件能夠將上位機給出的信號進行處理，然后分別傳遞到對應的下位機，進而，間接操作下位機，達到控制下位機做出相應變化的目的。這樣，激光器控制器件可在通信控制器件的作用下間接讀取上位機下達的命令，進而控制激光器；聚焦控制器件可在通信控制器件的作用下間接讀取上位機下達的命令，進而控制聚焦電機；外圍控制器件可在通信控制器件的作用下間接讀取上位機下達的命令，進而控制外圍設備；溫濕度監(jiān)測器件可在通信控制器件的作用下將直寫式光刻機的工作環(huán)境的溫濕度信息反饋到上位機。最終，完成整個控制或監(jiān)測過程。另外，本技術提供的直寫式光刻機中的激光器控制器件能夠與多個激光器連接，進而控制多個激光器；使得傳統(tǒng)的2路激光器控制器件只能分別控制2個激光器的情況得到優(yōu)化。同樣，本技術提供的直寫式光刻機的電控裝置中的聚焦控制器件能夠與多個聚焦電機(包括楔形聚焦電機和梯形聚焦電機)連接，進而控制多個聚焦電機；使得傳統(tǒng)的2路聚焦控制器件只能分別控制楔形聚焦電機和梯形聚焦電機的情況得到優(yōu)化。因此，本技術提供的直寫式光刻機的電控裝置及直寫式光刻機，擺脫了上位機直接控制下位機的情況，接口連接穩(wěn)定可靠。附圖說明為了更清楚地說明本技術具體實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對具體實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本技術的一些實施方式，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現有技術中的直寫式光刻機的電控裝置的結構示意圖；圖2為現有技術中的直寫式光刻機與上位機連接的結構示意圖；圖3為本技術實施例提供的直寫式光刻機的電控裝置的結構示意圖；圖4為本技術實施例提供的直寫式光刻機與上位機連接的結構示意圖。圖1和圖2中的附圖標記說明：1A-上位機；3A-2路激光器控制器件；4A-2路聚焦控制器件；5A-外圍控制器件；6A-溫濕度監(jiān)測器件10A-激光器；11A-聚焦電機；12A外圍設備。圖3和圖4中的附圖標記說明：1-上位機；2-通信控制器件；3-激光器控制器件；4-聚焦控制器件；5-外圍控制器件；6-溫濕度監(jiān)測器件；7-電源控制器件；8-整機電源；9-溫度監(jiān)測器件；10-激光器；11-聚焦電機；12-外圍設備；13-DMD核心控制芯片。具體實施方式下面將結合附圖對本技術的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。在本技術的描述中，需要說明的是，術語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本技術和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或器件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本技術的限制。此外，術語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種直寫式光刻機的電控裝置，其特征在于，包括通信控制器件、激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件和溫濕度監(jiān)測器件；所述通信控制器件的一端與上位機電連接，另一端分別與所述激光器控制器件、所述聚焦控制器件、所述外圍控制器件以及所述溫濕度監(jiān)測器件的輸入端電連接；所述激光器控制器件的輸出端與激光器電連接；所述聚焦控制器件的輸出端與聚焦電機電連接；所述外圍控制器件的輸出端與外圍設備電連接。

【技術特征摘要】
1.一種直寫式光刻機的電控裝置，其特征在于，包括通信控制器件、激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件和溫濕度監(jiān)測器件；所述通信控制器件的一端與上位機電連接，另一端分別與所述激光器控制器件、所述聚焦控制器件、所述外圍控制器件以及所述溫濕度監(jiān)測器件的輸入端電連接；所述激光器控制器件的輸出端與激光器電連接；所述聚焦控制器件的輸出端與聚焦電機電連接；所述外圍控制器件的輸出端與外圍設備電連接。2.如權利要求1所述的直寫式光刻機的電控裝置，其特征在于，還包括電源控制器件；所述電源控制器件的輸入端與直寫式光刻機的整機電源電連接；所述電源控制器件的輸出端分別與所述激光器控制器件、所述聚焦控制器件、所述外圍控制器件和所述溫濕度監(jiān)測器件的電源接口電連接。3.如權利要求2所述的直寫式光刻機的電控裝置，其特征在于，還包括溫度監(jiān)測器件；所述溫度監(jiān)測器件的電源接口與所述電源控制器件的輸出端電連接；所述溫度監(jiān)測器件的輸入端...

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：王新旺，劉濤，楊振玲，
申請(專利權)人：天津芯碩精密機械有限公司，
類型：新型
國別省市：天津;12