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本實用新型涉及一種摻鎢類金剛石碳膜的沉積設備，包括一個密封的真空腔體，該真空腔體采用左右對稱的結構，在真空腔體30°及150°位置處設置有小凸腔，小凸腔內放置有兩個對稱的高能離子源，在真空腔體0°及180°位置處設置有凸腔，凸腔內放置有一對...
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