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處理腔室氣流控制設備可包含處理腔室或被包含于處理腔室，所述處理腔室經(jīng)配置以在處理腔室中處理基板。所述氣流控制設備可包含閥，所述閥經(jīng)配置以密封所述處理腔室中的排氣口。所述閥可在X、Y及Z方向上相對于所述排氣口為可移動的，以調(diào)整所述處理腔室內(nèi)的...該專利屬于應用材料公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過應用材料公司授權不得商用。
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