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硅片多線切割后的脫膠工裝，包括槽體，其特征在于，所述槽體的兩側安裝有側耐腐蝕硅膠防護擋條，側耐腐蝕硅膠防護擋條的兩端設置有工裝側板，支撐橫梁安裝在槽體的上面，加工夾具均布布設在支撐橫梁的中間，所述槽體的底部設置有下耐腐蝕硅膠防護擋皮，所述槽...該專利屬于張家港市港威超聲電子有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過張家港市港威超聲電子有限公司授權不得商用。
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