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    下載集成肖特基二極管的SiCJFET器件及其制作方法的技術資料

    文檔序號:15509968

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    本發明公開了集成肖特基二極管的SiC?JFET(結型場效應晶體管)器件,其有源區的原胞結構從下至上依次為漏極、SiC襯底、buffer層、n?漂移層、左右對稱設置的兩個p+阱層、n溝道層、n溝道層兩側左右對稱設置的兩個p+區、從左至右依次對...
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