溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明涉及光阻液回收領域，具體公開了一種溶劑回收系統和方法以及涂布機和涂布光阻的方法。所述溶劑回收系統包括蒸餾罐、液化冷卻罐和過濾器，將待回收的含有光阻和溶劑的混合廢液在所述蒸餾罐中進行蒸餾以使得所述溶劑氣化以與光阻分離，氣化之后的溶劑依次...該專利屬于東旭（昆山）顯示材料有限公司;東旭集團有限公司;東旭科技集團有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過東旭（昆山）顯示材料有限公司;東旭集團有限公司;東旭科技集團有限公司授權不得商用。