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本實(shí)用新型涉及電子元件生產(chǎn)所用夾具技術(shù)領(lǐng)域，尤其公開了一種氣浮式夾頭夾具，包括夾頭裝置、浮動裝置，所述浮動裝置包含用于固定夾頭裝置的浮動件、腔體件、安裝板、頂蓋及密封件，所述腔體件設(shè)置有球狀槽、環(huán)狀槽、腔體導(dǎo)氣通道、進(jìn)氣通道和排氣通道，所述...該專利屬于東莞市耀野自動化有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過東莞市耀野自動化有限公司授權(quán)不得商用。