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本實用新型提供了一種晶圓片的拋光夾具，包括呈圓盤狀的盤體，其特征在于，所述盤體邊沿處具有若干均布的齒牙，所述盤體中心具有定位孔，所述盤體上還具有貫穿的且用于放置晶圓片的拋光孔，所述拋光孔的數量至少為兩個，相鄰兩拋光孔之間的盤體上還具有貫穿的...
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