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本發明提供一種曝光裝置、曝光方法以及器件制造方法。一種曝光裝置，通過隔著液體把規定圖案的像投影到基板上來曝光基板，該曝光裝置包括：把上述圖案的像投影到基板上的投影光學系統；為了在包含投影光學系統的投影區域的一部分基板上形成液浸區域，從在多個...
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