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本發明公開了一種濕法刻蝕排氣系統及濕法刻蝕裝置，涉及濕法刻蝕技術領域，解決了現有濕法刻蝕設備的腔體的抽換氣系統調節能力有限，無法在保證濕法刻蝕工藝需求的情況下，保證腔體內的壓力平衡，從而導致揮發性酸性氣體以及反應副產物氣體泄漏到腔體外部，對...該專利屬于成都京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過成都京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司授權不得商用。