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    下載一種陣列基板及其制造方法的技術資料

    文檔序號:15692980

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    本發(fā)明公開了一種陣列基板及其制造方法,屬于半導體技術領域。該制造方法包括提供一襯底基板;在襯底基板上制作柵極金屬層,柵極金屬層包括間隔設置的柵線和公共電極信號線;在柵極金屬層上形成柵極絕緣層、有源層、源漏極層、鈍化層和保護圖形;在鈍化層和柵...
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