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本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種圖案化目標(biāo)膜層、薄膜晶體管、陣列基板及制作方法，以簡(jiǎn)化圖案化目標(biāo)膜層的制作工藝，降低圖案化目標(biāo)膜層的制作成本。所述制作方法包括：在襯底基板上形成圖案化的光刻膠層，其中，所述光刻膠層的圖案為與所述目標(biāo)膜層的圖案互補(bǔ)的圖案；...該專利屬于京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司授權(quán)不得商用。