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本發明涉及一種蒸鍍掩膜版、其制作方法、電磁蒸鍍裝置及蒸鍍方法，用以解決現有的電磁蒸鍍裝置中，由于重力的作用蒸鍍掩膜版的中間位置下垂較多，蒸鍍材料容易在間隙處發生衍射的問題。該蒸鍍掩膜版包括：掩膜版主體，設置在掩膜版主體上的多個開口；每個開口...該專利屬于京東方科技集團股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過京東方科技集團股份有限公司授權不得商用。
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本發明涉及一種蒸鍍掩膜版、其制作方法、電磁蒸鍍裝置及蒸鍍方法，用以解決現有的電磁蒸鍍裝置中，由于重力的作用蒸鍍掩膜版的中間位置下垂較多，蒸鍍材料容易在間隙處發生衍射的問題。該蒸鍍掩膜版包括：掩膜版主體，設置在掩膜版主體上的多個開口；每個開口...