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本發(fā)明公開了一種高質(zhì)量的TiN薄膜的制備方法，包括以下步驟：選用Ti鑄錠經(jīng)鍛造、軋制、熱處理、校平和機加工后制成鈦板條；然后對其進行激光雕刻處理，并用卷圓機將雕刻后的鈦板條卷圓成鈦環(huán)，清洗烘干后，得到濺射鈦環(huán)；以鋼片作為基體，將鈦環(huán)和鈦鈀采...該專利屬于郭和謙所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過郭和謙授權(quán)不得商用。