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    下載一種基于清洗工藝制備銅襯底的方法的技術資料

    文檔序號:15702465

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    本發(fā)明提供一種基于清洗工藝制備銅襯底的方法,包括步驟:步驟1),提供制備石墨烯用的銅襯底;步驟2),將所述銅襯底置于有氧環(huán)境中處理,使所述銅襯底表面氧化,形成氧化銅層;以及步驟3),將氧化后的銅襯底放入氧化銅的反應溶液中,以腐蝕去除包含雜質(zhì)...
    該專利屬于中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所所有,僅供學習研究參考,未經(jīng)過中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所授權不得商用。

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