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    下載一種提高多晶硅錠成晶率的退火工藝的技術(shù)資料

    文檔序號(hào):15702520

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    本發(fā)明公開了一種提高多晶硅錠成晶率的退火工藝,涉及多晶硅鑄錠領(lǐng)域,用于改善硅錠退火過程中的雜質(zhì)擴(kuò)散等問題,其在硅錠凝固完全后不需升高爐溫而直接進(jìn)行降溫,避免了升溫過程中雜質(zhì)的擴(kuò)散,使硅錠頭尾及四周低少子壽命區(qū)域面積更小,降低了硅錠內(nèi)部雜質(zhì),...
    該專利屬于宜昌南玻硅材料有限公司;中國南玻集團(tuán)股份有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過宜昌南玻硅材料有限公司;中國南玻集團(tuán)股份有限公司授權(quán)不得商用。

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