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本發(fā)明提供的載臺(tái)機(jī)構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備，其包括上載臺(tái)、下載臺(tái)和旋轉(zhuǎn)軸，其中，上載臺(tái)和下載臺(tái)相互疊置；在上載臺(tái)上設(shè)置有貫穿其厚度的片位槽，晶片位于片位槽內(nèi)，且由下載臺(tái)的上表面承載；并且，在上載臺(tái)上，且位于片位槽的邊緣處還設(shè)置有貫穿其厚度的第一取...該專利屬于北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司授權(quán)不得商用。