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本發明公開了一種3D?Nand閃存設備及其制作方法。該3D?Nand閃存設備包括:P型襯底、多個陣列串、常規源線CSL,還包括:至少一層隔離層和至少一個P型阱區,其中:所述CSL形成于P型襯底內;在P型襯底上形成有多個陣列串,由第一介質層隔...該專利屬于北京兆易創新科技股份有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過北京兆易創新科技股份有限公司授權不得商用。
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